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摘要 G:tY1'5 :W1?t*z:[
Z_m<x! % ym};7'&b 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 m}s.a.x 51Y%"v t 建模任务 sg2% BkTI Hxgc9Fis
.7gh2K w3);ZQ| 由于组件倾斜引起的干涉条纹 _
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Xi[]8o rMbq_5} 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 $">j~! ' Dn 0L%?_
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