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摘要 ]2+g&ox4' yZSvn[f
z^sST bdV3v` 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 iUr xJh Y~oT)wTU 建模任务 MB:n~>ga Nm8w/Q5D`
NMjnL&P` N"DY?6 由于组件倾斜引起的干涉条纹 'o\;x"YJ $<e +r$1
B[NJ^b| gwQvao 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 Xa`(;CLW? 7o{*Z
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