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摘要 @el mTL JajE/ HbJ^L:/ 0@Z}.k30 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 !gJw?(8" EKEJ9Y+47H 建模任务 cVDcda|PE 5 &0qr$ P7$/yBI U Qw<&N$ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 ZWQ/BgKB eU8p;ajW!L P+DIo7VTX XJ7pX1nf 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 R1(3c*0f P=Su)c \J(kM,ZJ
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