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摘要 !#y_vz9 x&p.-Fi
^iA_<@[`X[ +L0Jje>Az 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 WU$l@:Yo e@h(Zwp 建模任务 M"\Iw'5$ PQj 'D<G
0ZM#..3sI '2z1$zst,# 由于组件倾斜引起的干涉条纹 ]Z IreI *3iEO>
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