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摘要 {^@vCBE+ rff_=(?i
2^X<n{0N) #Zg pm"MW 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 cy64xR BB x%yzhIRR 建模任务 $jg~a lyS`X
l( WF ^/ff)'.J 由于组件倾斜引起的干涉条纹 :u,Ji9
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LVaJyI@/> ms&6N'] 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 .~a.mT /g>]J70
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