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摘要 NK 8<=
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]Fxku<z7| >Q&CgGpW$ 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 {&E?<D2_& _0w1kqW 建模任务 z3clUtC+ WmNA5;<Q
Ocyb c% kl=xu3j 由于组件倾斜引起的干涉条纹 B\f"Iirw CdZnD#F2
?fB5t;~E Pv~: gP 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 !-7_ +v> 46ILs1T6
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