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摘要 |Iq\ZX%q WAh{*$Rpl Hh<}~s as@I0e(( 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ?|we.{ Aj2yAg 建模任务 rIF6^? EWoGdH| >PiEu->P, nrI-F,1 由于组件倾斜引起的干涉条纹 e@crM'R7Lo p\/;^c`7 `Jon^&^;| mmgIV&P 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 S4(lC%$| 1C\[n(9 ?e!mv}B_
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