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摘要 o( zez C
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xc}[q`vK 'D5J5+.z 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 %(eQ1ir + :gwmk9LZ 建模任务 K.}jOm -@w,tbc$
`Uz.9_6 F7JO/U^oU 由于组件倾斜引起的干涉条纹 ]ouoRlb/ }?Y -I>
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由于偏移倾斜引起的干涉条纹 X^eyrqv >]~581fYf
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