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摘要 Br}0dha3E <F&53N&Zc x~n]r[!L Y<)9TU:D! 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 4&_|myO& QQW]j;'~ 建模任务 3c[< #]8S p`T,VU&. 8i Xt8XY3 0oNy 由于组件倾斜引起的干涉条纹 %WO4uOi:@ DEN (pA\ T@gm0igW/; aF5=k:k 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 O]-s(8Oo3 _2wH4^Vb !v?WyGbUg
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