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摘要 >v^Bn|_/ "pTyQT9P
v{9< ATi ^50#R<Ny 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 +V*FFv 8_WFSF^ 建模任务 ]p>6r*/nw QHnk@R!
c!"&E\F "2:]9j 由于组件倾斜引起的干涉条纹 PW)XDo7 aR30wxW&)
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j[xP 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 z1A[rbe=4w ,W"Q)cL
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