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摘要 %rq/jC B):hm
b?nORWjC ?"L ^0% 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 s|d"2w6t eGj[%pk 建模任务 /L*JHNu"_ ^@OdY&5^
=9L1Z \f sG8G}f 由于组件倾斜引起的干涉条纹 m\e?'-(s t(:w):zE
^F:Bj&0v[ 9q_c` 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 j6DI$tV~ YK%rTbB(
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