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摘要 G~ZDXQ>5CP )c@I|L
e_J_rx 7e&R6j 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 b6D}GuW
TQ&%SMCn 建模任务 7>-y,?& 2,Y8ML<
x&3!z[m@@ ?WWnt^ 由于组件倾斜引起的干涉条纹
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"Kk3# %8H*}@n 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 8VvoPlo bo&!oY#
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