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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 .iR<5.  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 (km $qX  
    {,5 .svO  
    初始宏文件可以评论区留言获取 v CsE|eMP  
    C<teZz8/w  
    H^kOwmSzh  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 VB905%  
    J=Kv-@I>E  
    2.1设计要求
    < xeB9  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: \LJ!X3TZ  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 dCM &Yf}K  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: 8B-PsS|'  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    Vf:.C|Z  
    K@e2%hk9x  
    h{7>>  
    以上展示部分命令,这其中,  GpTZp#~;  
    OBG 的物是高斯光束. v\bWQs1  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. Xbmsq,*]  
    得到的初始结构如下:
    JJ1>)S}X-  
    4I&(>9 @z<  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 5yt=~  
    原因如下: l4$ sku-  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 mg:kVS  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 vKW!;U9~P  
    优化
    9LPXhxNwB  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 zf)*W#+  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 q 1xSylE  
    改变高阶项
    }ACg#;>/+  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? -cUbIbW  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 T\.~!Q  
    HELP USS (t3gNin  
    然后找到类型16。 hwUb(pZ  
    :j~4mb?$  
    优化结果
    XSof{:V  
    Kn$t_7AF^  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 R%r25_8  
    光通量
    4_>;|2  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 8>j&) @q  
    OU` !c[O  
    (D[~Z!   
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? z l`m1k-X  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 LsI@_,XW<  
    打开 MMA对话框。 n}Eu^^d  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 ';\norx;  
    Object point (物体坐标)设定为 0, =/j!S|P  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, g:~q&b[q6  
    数字化输出, {~]5QKg.  
    绘制图表。 &Oz  
    Z2*?a|3  
    6K7lQ!#}Q  
    这是一个表面光栅的分布图。 sa<\nH$_X  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? #l+Rs3T:  
    z7BFkZ6+  
    ?/T=G k  
    在 PANT 文件中添加一个变量: zk3\v "  
    VY 5 RAD oH4zW5  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: )%p46(]  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 Ha]vG@?+  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 ~G8l1dD  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    j0oto6z~b  
    光通量
    光栅分布
    -]}#Z:&  
    P//nYPyzg  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 %OHWGac"i  
    镜片表面高斯光强分析
    J"h2"$v,  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. IDpLf*vSG  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE L Y4bn)Qf  
    0FL'8!e<  
    ,hJx3g5#n  
    (gE<`b  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) 7Q'u>o  
    它有着预期的高斯分布的形状。 dg*xo9Xi`  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 hN0h'JJ[7  
    输入: LZG(T$dI  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE )gU:Up24|"  
    非常均匀水平的光强分布。 {=Ji2k0U'  
    f6SXXkO+  
    DMASK 图像
    Zw4%L?   
    #D(=[F  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 oPBKPGD  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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