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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 |qBcE  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 =nqHVRA  
    t(jE9t|2e6  
    初始宏文件可以评论区留言获取 }b/P\1#z  
    W6B"QbHYz  
    }Eh &'  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 o7@C$R_#  
    <T&v\DN  
    2.1设计要求
    \>X!n2rLZe  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: !s:e  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 <. *bJ  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: <~uzKs0  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    buT6 )~lw  
    m=SI *V  
    +}PN+:yV  
    以上展示部分命令,这其中, ` 46z D ?  
    OBG 的物是高斯光束. ~S\> F\v6'  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. MzDosr3:  
    得到的初始结构如下:
    );kD0FO1|  
    MdmN7>  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 SZ}=~yoD(  
    原因如下: eze%RjO}  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 m xqY  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 :2K@{~8r  
    优化
    Q<gUu^rq  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 p4 =/rkq  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 {Ay dt8  
    改变高阶项
    1GK>&;  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? &} { #g  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 9bspf {  
    HELP USS : ]+6l  
    然后找到类型16。 RB|i<`Z  
    _^NyLI%  
    优化结果
    AI`k }sA~  
    M:b#">M  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 ex6R=97uA  
    光通量
    j[.nk  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 dDIR~ !T  
    K/K-u  
    {_/o' 6  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? Fm,` ]CO  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 0Qq<h;8xEc  
    打开 MMA对话框。 kwL|gO1L  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 Od)y4nr3~  
    Object point (物体坐标)设定为 0, E2d'P  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, x~vNUyEN)  
    数字化输出, (zsv!U  
    绘制图表。 ][ IOlR  
    y.c6r> }  
    D>-r `  
    这是一个表面光栅的分布图。 N9-7YQ`D  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? oLh ,F"nB  
    iER@_?  
    KmTFJ,iM  
    在 PANT 文件中添加一个变量: v"W*@7<`S  
    VY 5 RAD f:ObI  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: >36,lNt  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 <|jh3Hlp  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 yCvtglAJ4  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    ,(pp+hNq  
    光通量
    光栅分布
    7HBf^N.  
    -(]C FnD_N  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 &29jg_'W  
    镜片表面高斯光强分析
    Hd\V?#H  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. eqsmv [  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE bXOKC  
    b%%r`j,'JE  
    h]s~w  
    }`g-eF >p  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) o3/o2[s  
    它有着预期的高斯分布的形状。 Z )M "`2Ur  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 YnRO>`  
    输入: HFZ'xp|3dn  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE @,TIw[p  
    非常均匀水平的光强分布。 XhHgXVVGG<  
     ;Pt8\X  
    DMASK 图像
    nOvR, 6  
    } &B6  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 rB$~,q&.V  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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