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摘要 COw]1 R U=C8gVb{Hq 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 dJ# .
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 ><X!~by ,uD>.-> 建模任务 #zcp!WE.OI .,K?(O4AY  6dh@DG*k 光栅特性与参数的严格分析 W
9Z.X!h G6zFCgFJ^y 不同光栅周期下的衍射效率 mmXLGLMd vpY|S2w)Bp
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.~ a) 关于光栅周期选择的考虑 Q^v8 n1
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 LjXtOF <g,k[ VirtualLab Fusion中的工作流程 Qkqn~>
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 QsDa b4 V85a{OBm,8 •构造光栅结构 3Luv$6
−通过使用界面来配置光栅结构 Bh2m,=``
[用例] ,X\ z# B
•分析光栅衍射效率 4_t
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−光栅级次分析器[用例] EE&~D~yHUL
•使用参数运行搜索初始解决方案 6Om-[^
−参数运行文档的使用[用例] -mX
_I{BJ
•通过参数优化找到最终设计 Ks
X@e)8u i>,5b1x~ VirtualLab Fusion技术 w ^`n 66)@4 3V
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