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摘要 +-|""`I1I R'c dEoy 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ?Cf'IBpN ]z^jz#>um& wz:e\ ! Bzwll 建模任务 ,ZJ}X 9$< EZB0qZIp F-|DZ?)k5 光栅特性与参数的严格分析 G=17]>U *P*~CHx> 不同光栅周期下的衍射效率 iw,uwh|L
1sj7]G]`k }5vKQf }VJ>}i* 关于光栅周期选择的考虑 VX.LL
5 Sr6'$8#>Y ct-Bq f<bB= 9J 偏振相关的衍射特性 *g+ZXB > "F-1{ j.Uy>ol I20~bW ivo><"Y(r X2Ak Gxe)5,G }kmAUaa,Z 通过参数优化进行光栅设计 L%v@|COQ3 ,byc!P 固定周期的2D参数优化 Zt9G[[] t!rrYBSCr |"LHo
H 2D参数优化–设计1 =_k -M=BD-_.h akbB=:M,x Fc`IRPW< 2D参数优化–设计2 RM_%u=jC >WLX5i& Xf&YcHo g$GGo[_0 制造公差分析–设计2 .c]>*/(+ Wd;t(5Xl L-?ty@-i
yGtTD9j 变化光栅周期的3D参数优化 L3I$ K+c :&
Dv!z kBk>1jn" xwD` R* 制造公差分析 .S,E= u
$-&Im< Y }VJ4!%U n! 5(Z5= 走进VirtualLab Fusion Ox J0." AAa7)^R ((]i}s0S 3mU~G}ig VirtualLab Fusion中的工作流程 =A,B'n\R M2cGr Nxt:U{`T' *D%w r'!> •构造光栅结构 bEcN_7 −通过使用界面来配置光栅结构 Mu/(Xp6 2 [用例] P,pC Z+H •分析光栅衍射效率 nQV0I"f]?] −光栅级次分析器[用例] *yT> •使用参数运行搜索初始解决方案 ktfm −参数运行文档的使用[用例] 'v<v6vs •通过参数优化找到最终设计
RP{0+ yOz6a :r VirtualLab Fusion技术 _(g0$vRP~ v*Gd=\88 Y910\h@V
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