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摘要 $TU:iv1Fm JSp V2c5Q 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 K/T4T\ JWB3;,S
O@9<7@h+Nl 76IjM4&a 光栅详细说明 IA6,P>}N 62s0$vw
r<)>k.]
! %imI.6 •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 T)CEcz •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 |$^a"Yd`9 D MzDV _ 光栅阶次分析器设置 {7F?30: ] $u"*n\k> •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 b79z<D •可以指定各种输出选项。 1uwzo9Yg •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 %f-Uwq&}Y" ]K<mkUpY
?z{Z!Bt?=) zn+5pn&? 常规设置 U"T>L ,$oz1,Q/
sKCfI] ]ykMh •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 ABG>W>H-S •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 x<=<Lx0B; (_ TKDx_ 单个阶次设置 "e ;wN3/bF WHk rd8
C@F3iwTtp &sA@! •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 =@\Li)Y •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 -dO9y=?t [kp# 单个阶次设置 `mp3ORR;$ &al\8 znq/
%7 2EAY`}Rl6.
b%_[\(( k62KZ5| D 探测器标签页中的输出 < |