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摘要 9*Q6/?v CKI.\o 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 ~Uw;6VXV1 5(5:5q.A/D 3c%_RI. 36e 光栅详细说明 Gr-~&pm
)Fgu' <*Nd%Ca Gsn$r(m{K •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 CY~ S{w •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 60TM!\ R1$s1@3I| 光栅阶次分析器设置 s
Poh\n \&_pI2X •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 kx?f, ^- •可以指定各种输出选项。 Um^4[rl:#g •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 7Q^p|;~a iD*21c< |