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摘要 J#$U<`j*G R/oi6EKv 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 &4:R(]| E2dM0r<]
$P{`-Y }a lI?P_2AaS 光栅详细说明 $2a"Ec!7 v'i'I/
a$=~1@ 76tn`4NIP •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 WutPy_L< •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 ]Ucw&B*@ NBPP?\1 光栅阶次分析器设置 MDlH[PJ@i S9Sgd&a9 •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 ..JRtuM-v •可以指定各种输出选项。 I>;{BYPV •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 xh2r?K@k> 9vV==A#
!mxH/{+|n 7+P;s,mi7 常规设置 hVF^"$ 7FE36Ub9
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T •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 -$:;en? •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 tczJk1g} < |