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摘要 ntGq"
o I4D<WoU;dJ 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 Nfw YDY |s=`w8p
vv.PF~: f^9&WT 光栅详细说明 kH?#B%N5 vZkXt!%)
8!zbF<W9 <m-.aK{9 •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 >]&X ^V%Q# •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 0@pu@ DP~ |0
!I5|<k 光栅阶次分析器设置 v <Hb-~ T?npQA07= •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 +\`rmI •可以指定各种输出选项。 ]V<-J •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 HY)ESU
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V1<`%=%_W K]fpGo 常规设置 rWQY?K@ 6 h'&6
Fr5 Xp "!Lkp2\ •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 saW!9HQj •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 Hwu4:^OL| "C74 单个阶次设置 {1~T]5 :ejJV
6.
MzTW8 *YvRNHP •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 x(~< |