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摘要 R6-Z]Hu {V5eHn9/Q' 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 Q(h/C!rKe >IE`, fe
C^nTLw;K s!WI:E7 光栅详细说明 wUcp_)aE| B%/N{i*Z
H:.l:PJ %S]g8O[}nl •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 GKa_6X_ •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 CC.ri3+. c<]~q1 光栅阶次分析器设置 `rZS\A (K3eb •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 G~KYFNHr •可以指定各种输出选项。 nbdjk1E`~ •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 l|5;&(Y+s Rg~F[j$N
)_\q)t"= FFpG>+*3 常规设置 j=n<s</V jxTYW)E
!TeI Jm/l R/?ZbMn]! •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 lq}g*ih •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 G2!J`} Or,W2 单个阶次设置 \cW9"e' U['|t<^uf
fe!{vrS )T!3du:M •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 y$U(oIU> •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 m+9~f_} C7xmk;c
w 单个阶次设置 #D|n6[Y'.t i4H,Ggb ;cp,d~m rf D%!GY1wdn
%#iu h#(J6ht 探测器标签页中的输出 :FX|9h @tg4rl
`$i/f(t6` sX,S]:X •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 _FtsO<p)" •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 >m#bj^F\ *5d6Q 极坐标图中的输出 ky=h7#wdv- _q=ua;I& oxXCf%! (fcJp)D •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 !"<~n-$B •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 osZ]R B<oBo&uA 极坐标图设置 vXT>Dc2\! *^[j6
2./;i>H[u U*:E|'> •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 ^/fasl$# •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 Usq.'y/o -T{G8@V0I 阶次汇集输出 )SyU
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