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摘要 l+^4y_ F||oSJrI 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 G mmh&Uj x0dBg~I
6J3<k(#: {jEEAH) 光栅详细说明 ByjgM` *XG.?%x*|
\8Yv}wQ H66F4i •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 wG&rkg";# •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 AZbFj-^4 G;^,T/q47 光栅阶次分析器设置 xL!@$;J @F!oRm5 •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 6LzN#g •可以指定各种输出选项。 i[n3ILn •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 WWVQJ{,} "bvob G
{6>:=?7]R Tl-Ix&37 常规设置 I=4G+h5p PED5>90
wF{M"$am 81S0: = •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 vF'Y; M •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 -)!;45 d{c06(#_ 单个阶次设置 u
236a\: #UqE%g`J
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Xv)R O?qM=W •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 M HKnHPv •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 tx}=c5 ~4`3p=$ 单个阶次设置 D#d
\1g SM[VHNr,- NrfAr}v'E )$QZ",&5
X/A(8rvCr qE{L42 探测器标签页中的输出 ;b0;66C8| #}C6}};
5DVSaI$ =
xnC5WF7 •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 -@mcu{& •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 & |