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摘要 Jc95Ki1X QOB>TvE 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 z1K@AaRx N[:;f^bH49
4cDjf~n E0[ec6^qwY 光栅详细说明 FWNWOU hOG9
rOHU)2 Js.2R$o =* •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 ;EDc1: •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 yPs4S?<s t"4RGO)jh 光栅阶次分析器设置 lV<2+Is Q8OA{EUtq •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 O/
Yz6VQ •可以指定各种输出选项。
~$cz`A •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 7L)edR[ :Yeo*v9
O|wu;1pQ rKxIOJ ,T 常规设置 P&I%!'<
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