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摘要 /Ea&Zm u@Z6)r' 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 h>z5m R_:lp\S&
l['ER$(7 ?cK67|%W 光栅详细说明 fQw=z$ pG v*{.
j97K\]tQ .\
vrBf •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 Pvm pWa •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 ],zp~yVU& [xdVuL;N 光栅阶次分析器设置 ZxCXru1 oy=ej+: •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 3]&le[. •可以指定各种输出选项。 @cG+D •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 x_(K%0+Ca zTn.#-7y
\~C/ Ubwmn!~ 常规设置 ,OkI0[ #=F{G4d)!=
g6][N{xW0 lI9|"^n7F •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 BY$L[U;@T •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 y8v0>V0) +\.0Pr 单个阶次设置 qE6D"+1y7 /1+jQS
c48I-{? YTfi g{a •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 C5X!H_p •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 :vFYqoCn 7e)j|a-!< 单个阶次设置 PaDm"+H@ E6?0/" BMn`t@ !x raR=k!3i
oSO~72 Yg;7TKy 探测器标签页中的输出 uPb. uG P
qa;fiJ)
dZCjg0cx Bv7os3xb •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 &sJ6k/l •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 b>& 3XDz fV!~SX6S 极坐标图中的输出 @8cn<+"b 7lzmAih *M6j)jqV U6YQ*%mZ_ •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 Ed#Hilk' •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 ~#=70 c$;Cpt@-j 极坐标图设置 ]-w.x]I Z..s /K{
{w v{"*Q9Q aM\Ph&c7e' •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 OXV9D:bIa •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 ;jmT5XzL u)Vn7zh 阶次汇集输出 6MQyr2c 3AcDW6x| R]d934s •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。 yk2XfY •用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据 cM=_i{c }x"8v&3CM_ 阶次汇集设置 ii ^Nxnc= y# IUDnRJ
Bdib)t[ U;Yw\&R |