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摘要 jK(]eiR$S U3t$h 参数的系统性变化对复杂光学系统的详细研究具有重要意义。VirtualLab Fusion允许通过所谓的参数运行功能来实现参数的变化。通过使用参数运行,可以根据分析任务的需求任意配置这些变化。此外,特殊的可编程模式允许自由配置,以提供完全可自定义的参数变化。通过实例介绍了该可编程模式的应用。 Nh^
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]&b>P ;j: 6 Mc&gnN 参数运行的初始化 57|RE5]|! OK] _.v}
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参数的选择和变化范围 cM?i _m |YnT;q 在第二页,必须选择参数运行的模式 _8 C:Md` 在下表中,可以选择所需的变化参数,以及相应的变化范围和变化步数 9cqq"-$G` 在这个例子中,矩形光栅的周期和高度是变化的 \8^c"%v,: 0FAe5
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zNo>V8B( ?9Hs,J 参数运行的自定义 >OxSrc@A (O!Q[WLS
bC h a(#aEbN?d 参数运行的自定义 Z1dLC'/b] q)f-z\ 在下一页,显示了配置的参数运行的迭代 "3;b,<0 k.n-JS
z)_h"y?H{% UJ?qGOM3x> 参数运行的设置 .,*68S0k7 接下来,对于参数运行的所有模式,必须选择所需的仿真引擎和/或分析器。 #d* )W3e2{ 在本例中,只使用了光栅级次分析器 I xk+y? PZ.q Hx?OCGj=S* 5Tg[-tl 参数运行的设置 pNNvg,hS8 然后单击Go开始计算 V;IV2HT0J" 计算完成后,所有结果如下表所示。 [/Vi*Z )`,Y^`F2 "CTK%be{q/
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