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摘要 9o@3$ E ,i^rA m 参数的系统性变化对复杂光学系统的详细研究具有重要意义。VirtualLab Fusion允许通过所谓的参数运行功能来实现参数的变化。通过使用参数运行,可以根据分析任务的需求任意配置这些变化。此外,特殊的可编程模式允许自由配置,以提供完全可自定义的参数变化。通过实例介绍了该可编程模式的应用。 w2B)$u gawY{Jr8I := V?; C[FHqo9M?H 参数运行的初始化 7D'\z
IW ,TBOEu."4 1]xmOx[mb ^ :VH?I= 参数的选择和变化范围 >}SEU-7&\ N{Sp-J> 在第二页,必须选择参数运行的模式 7L~*%j 在下表中,可以选择所需的变化参数,以及相应的变化范围和变化步数 Du_5iuMh 在这个例子中,矩形光栅的周期和高度是变化的 zs=3e~o3 .n\JY;" rWht},-|1 .}__XWK5 参数运行的自定义 |/,SNE 3lF"nv Tm"H9 Jm_)}dj3o 参数运行的自定义 y
4i3m(S KjGu !B 在下一页,显示了配置的参数运行的迭代 ebA:Sq:w *fN+wiPD hjL;B'IL VMah3T! 参数运行的设置 m]qw8BoU`F 接下来,对于参数运行的所有模式,必须选择所需的仿真引擎和/或分析器。 66val"^W 在本例中,只使用了光栅级次分析器 ~[CFs'`(2 7xnj\9$m 3?o4 M 5#wz0 参数运行的设置 'lIs`Zc5N 然后单击Go开始计算 ` GF w?G 计算完成后,所有结果如下表所示。 6]7csOE vr;`h/ 56AC%_ g>
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