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作为衍射光学领域广泛使用的方法，薄元近似（TEA）在计算薄衍射元件的衍射效率时非常有效。 但在另一方面，当衍射光栅的周期小到可以与波长相比较时，这种近似将会变得不准确。 我们选择了两种常用的透射光栅轮廓（正弦和闪耀），并应用TEA和严格的FMM / RCWA进行分析，用来比较两种方法的结果。 4bV&U= T#ktC0W]h 用于光栅建模的TEA与FMM #\15,!*a=
;?-A 4!V,
 @'go?E)f 我们同时使用TEA和FMM（也称为RCWA）来分析两种周期不同的光栅（正弦光栅和闪耀光栅），并比较了两种方法的结果。 >=G-^z: YVcFC l 闪耀光栅的傅里叶模态分析 $ yd "bJK
L>4!@L5)
 &Nvva qJ 在VirtualLab Fusion中，傅里叶模态方法（FMM）可用于光栅效率的严格分析。 !Ee#jCXS
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