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摘要 SJ:Teab qK~]au:C 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 /11CC \ Qw|y%Td8r
PL!dkaD^y> +^J;ic 建模任务 LfK/wSvWw {i3=N{5b
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K 正弦光栅—效率与高度(TEA) r(_Fr#Qn /^I!)|At
;TwqZw[. /[Rp~YzW 正弦光栅—透射相位曲线 0;*[}M]Z Ox)_7A
%.Kr`#lCr lL5* l,)To 正弦光栅—透射相位曲线 jZvIqR/ |?MD>Pez
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@Xh 正弦光栅—衍射效率 IlI5xkJ( m`Z.xIA7;
EaH/Gg3 6x/o j`_[ 正弦光栅—效率与周期 z8)&ekG V%C'@m(/SZ
;vWJOvM2 +Mn(s36f2 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 s&wm^R c|(Q[=
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k}#<P4\ 闪耀光栅—效率与高度(TEA) m")p]B&i= ,W/Y@ScC
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ou]jm=4[ r?pFc3~N 闪耀光栅—衍射效率 kKDf%= f'qM?GlET
qNMYZ0, O@:R\MwFOZ 闪耀光栅—效率与周期 ~*~aFf5 kK0zb{
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W&3,XFnI_ -KG1"g,2 VirtualLab Fusion一瞥 X]\; f J'L6^-gV
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VirtualLab Fusion工作流程 B&EUvY ' `dl^)4J a\B?J • 设置光栅结构 `nc=@" 1 −使用界面配置光栅结构[用户案例] CE|
*&G • 分析光栅衍射效率 f Avh!g −光栅阶次分析器[用户案例] }b{7+ +
Ah • 通过参数运行检查不同参数的影响 p`!<yq2_ − 利用参数运行文档[用户案例] 'c
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q!Z{qt*`um ]9wTAb VirtualLab Fusion技术 f>Tn#OW uNqN &7g
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