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摘要 j[/S XF\=
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 Oh/b?|imG
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rwQ~t 闪耀光栅—效率与高度（TEA） x|@1 wQ" 6
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#4vV%S VirtualLab Fusion一瞥 Op`I;Q
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 S ~+O` y^ %04 :z77 VirtualLab Fusion工作流程 ,>D ja59 f ,tW_g 't
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• 设置光栅结构 v<L=!-b^
−使用界面配置光栅结构[用户案例] iuiAK
• 分析光栅衍射效率 =nJ{$%L\x,
−光栅阶次分析器[用户案例] =yl4zQmg$
• 通过参数运行检查不同参数的影响 }x*7l`1
− 利用参数运行文档[用户案例] u?Fnln e4@
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