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摘要 YLigP"*~^
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 &#Wkww&Y
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Mr#oT? VirtualLab Fusion一瞥 XB6N[E
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 n$nne6|O &n}8Uw0440 VirtualLab Fusion工作流程 V]+o)A$ v$q pcu#o 0G+L1a-
• 设置光栅结构 GZxglU,3T
−使用界面配置光栅结构[用户案例] `;zu1o
• 分析光栅衍射效率 XfD
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−光栅阶次分析器[用户案例] 4W[AXDS
• 通过参数运行检查不同参数的影响 Wm];p qN
− 利用参数运行文档[用户案例] 1\M"` L/
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 2&zn^\%" ?6_"nT*} VirtualLab Fusion技术 Dwm@E\^ihm
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