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摘要 ?o ;ip
FDLo|aP/v
薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 .b3h?R*&
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`o9GLxM} -SM_JR3< VirtualLab Fusion工作流程 j $q5m 24L j2Dw7"f3 p Run5 )7
• 设置光栅结构 @??3d9I
−使用界面配置光栅结构[用户案例] v`,!wS
• 分析光栅衍射效率 PN 93.G(W
−光栅阶次分析器[用户案例] @KL&vm(F$
• 通过参数运行检查不同参数的影响 v%qOW)].
− 利用参数运行文档[用户案例] y-3'qq' E
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