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摘要 f,Dic%$q wT6zeEV~* 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 v=0G&x=/ n*A1x8tn
KR%WBvv Bt(<Xj D 建模任务 ~6@`;s`[Y :?BK A0E
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Owi/e 正弦光栅—效率与高度(TEA) uf9&o# 5Gy#$'kdf
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正弦光栅—透射相位曲线 X!^|Tass }aR}ZzK/v
4C%pKV z'& fEsjy 正弦光栅—透射相位曲线 fz :(mZ% \#t)B
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Z%:>nDZV QAp]cE1ew 正弦光栅—衍射效率 9jqsEd-SW /\h*v!:
.6azUD4 @`:X,]{ 正弦光栅—效率与周期 B 5|\<CF JHvev,#4
OM&GypP6& 4}v|^_x-i 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 ]lBCK 9g5h~Ma
qx[c0X! z<vh8dNl 闪耀光栅—效率与高度(TEA) aE9Y
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bNVeL$' !=,Y=5M, 闪耀光栅—透射相位曲线 tOLcnWt
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z_fjmqa? p\ ;|Z+0= 闪耀光栅—衍射效率 CL4N/[UM %}VH5s9\
p ZTrh&I] s) shq3O 闪耀光栅—效率与周期 aYb97}kI ;ISnI
R8Vf6]s_ pcwYgq#5 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 %8tE*3iUF > ]^'h
q -8G </`\3t VirtualLab Fusion一瞥 \>-
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EH:9 OpEH4X.Z VirtualLab Fusion工作流程 ()?83Xj[c '1gfXC HT .*r6Y>g • 设置光栅结构 `IUn{I −使用界面配置光栅结构[用户案例] Jq'8" • 分析光栅衍射效率 1d<Uwb> −光栅阶次分析器[用户案例] 3>aEP5 • 通过参数运行检查不同参数的影响 XAU%B-l: − 利用参数运行文档[用户案例] g=56|G7n gYc]z5`
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