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摘要 s=QAO!aw
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 7 !JQB
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k.vBj~xU VirtualLab Fusion一瞥 C":32 _q
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 vY }A xL NtIzx VirtualLab Fusion工作流程 9`I _Et @z4*.S&tz 7\ $qFF-y
• 设置光栅结构 _aFl_\3>
−使用界面配置光栅结构[用户案例] V5sg#|&
• 分析光栅衍射效率 ein4^o<f.
−光栅阶次分析器[用户案例] /']. lp
• 通过参数运行检查不同参数的影响 z3&]%Q&
− 利用参数运行文档[用户案例] Szq/hv=Q
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 Z:, U]Z( S1p;nK VirtualLab Fusion技术 Ir`eL
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