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摘要 S pDVD o:_}=1nh 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 ;A~S){ _{&znXf>?6 b9[;qqq@' >/1N#S#9 建模任务 A] pLq` }% JLwN O>xGH0H ]y@8mb& 正弦光栅—效率与高度(TEA) KDgJ~T r]?ZXe$; #gi0FXL y5iLFR3z 正弦光栅—透射相位曲线 = ^:TW%O 4x.'H18 R9D<lX0% 4&)*PKq 正弦光栅—透射相位曲线 qyv9]Q1 MVz=:2)J2 ),0_ C\ 0/S|P1!b 正弦光栅—衍射效率 NY\q n(,b$_JK7 n[lf==R Lv+lLK 正弦光栅—效率与周期 B:)9hF?o@ 6#fl1GdH- n;Tpf<*U ^kxkP}[Z. 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 r]Bwp i% x;S v& !p4w
8 \v{tK; 闪耀光栅—效率与高度(TEA) <i"U%Ds ( ,i#]&f`c;5 f:\jPkf' Ev%4}GwO4 闪耀光栅—透射相位曲线 9r@r\- ~T>_}Q[M2p T[B@7$Dp* -X5rGp++ 闪耀光栅—衍射效率 /]2-I_WB mZ3i#a4 lBh|+KN RK#e7 闪耀光栅—效率与周期 qlD+[`=b +r *f2\S ym:^Y-^iV #>GUfhou) 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 e*jt(p[Ge |[(4h "AP''XNi E.Xfb"] VirtualLab Fusion一瞥 zz 7m\ kX."|] JYOyz+wNd .]0B=w* Z VirtualLab Fusion工作流程 $Ll]h</Z D{I^_~-\5 ]H0BUg • 设置光栅结构 I
\zM\^S>] −使用界面配置光栅结构[用户案例] z"bgtlfb8 • 分析光栅衍射效率 [tym~ZZ]_m −光栅阶次分析器[用户案例] j!GJ$yd=-6 • 通过参数运行检查不同参数的影响 RzQ1Wq − 利用参数运行文档[用户案例] YW9 [^ eG9tn{ JVf8KHDj Y*;Z(W.V# VirtualLab Fusion技术 BRYhL|d~. u*Z>&]W_ <iunDL0
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