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摘要 a&[n Vu+
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 [y:LA ~q
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w>u Z$/ VirtualLab Fusion一瞥 w|C~ {
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 EcIQ20Z_- E 6: p VirtualLab Fusion工作流程 "N]o5d 5>)jNtZ lIg2iun[n
• 设置光栅结构 KU,w9<~i(
−使用界面配置光栅结构[用户案例] $x;h[,y
• 分析光栅衍射效率 Tm\[q
−光栅阶次分析器[用户案例] BA,6f?ktXS
• 通过参数运行检查不同参数的影响 8n5nHne
− 利用参数运行文档[用户案例] =joXP$n^
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 8F` .5;LL,S- VirtualLab Fusion技术 1i:g
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