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摘要 V*;(kEqj <]t%8GB2V 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 J7$5s )gUR@V>e2
j?\Qh ./Zk`-OBT 建模任务 LKB$,pR~1l 'W^YM@
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Ms#M+[a OX7M8cmc+ 正弦光栅—透射相位曲线 yjX9oxhtL B)g[3gQ
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+_t-5 VirtualLab Fusion工作流程 h2]P]@nW;W 'XjZ_ng ~Otoqu| • 设置光栅结构 :>f )g −使用界面配置光栅结构[用户案例] {qJ1ko)$ • 分析光栅衍射效率 hRCJv#]HC −光栅阶次分析器[用户案例] `0gyr(fES • 通过参数运行检查不同参数的影响 E]n&=\ − 利用参数运行文档[用户案例] Hd ={CFip ,m|h<faZL
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