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摘要 GS&I6 S|
|OSxZ 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 L\zyBfK} Oq*;GR(Q
7 MS-Gs| b5)a6qtb 建模任务 *cP(3n3]R tx7B?/5D
f= A`{8^ 8o i{%C&- 正弦光栅—效率与高度(TEA) LeV";=_n TSTkMlCG
l4gZHMh' sSy!mtS 正弦光栅—透射相位曲线 8ly6CP+^B W3gHzT?{
&Jd_@F#J c'DNO~H 正弦光栅—透射相位曲线 gsYQ"/S9 ye-[l7
"*LQr~k~} \h/)un5 正弦光栅—衍射效率 M%Zh{ >dJ[1s]
N~ajrv}kd Q7]bUPDO 正弦光栅—效率与周期 7J1f$5$m5 ++ZP
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T"3:dkQw 'cqY-64CJZ 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 XS$#\UQ >d(:XP6J
y@(EGfI \M;cF"e-S 闪耀光栅—效率与高度(TEA) >Cam6LJ 8g {;o7
67Ev$a_d" %\L{Ud%7 闪耀光栅—透射相位曲线 3^iVDbAW{ CfT(a!;Eox
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5me#/NqLHY :31?Z(fQ 闪耀光栅—效率与周期 55ft,a N cp
M/,lP "xNP"S 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 Z<*"sFpAO X]D:vuB
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0 VirtualLab Fusion一瞥 CzIs_/ @{Dfro
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e|[9 VirtualLab Fusion工作流程 C~WWuju' n5#QQk2 CM6! 1 7 • 设置光栅结构 T
oT(' −使用界面配置光栅结构[用户案例] T7-yZSw-m • 分析光栅衍射效率 /l+"aKW
2 −光栅阶次分析器[用户案例] `dWnu3r; • 通过参数运行检查不同参数的影响 d)0|Q − 利用参数运行文档[用户案例] hkRqtpYK x=-(p}0o;<
7{]L{ j- WM%w_,Z VirtualLab Fusion技术 Dk&(QajL ac6@E4 _
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