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摘要 N<%,3W_-_ qa6up|xUnn 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 =7>~u 8&bj7w,K
FT=>haN >Fh@:M7z 建模任务 *WG}K?"/ MIJ~j><L
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r/1+. 正弦光栅—透射相位曲线 DSp@ JZ
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25r=Xv EQ -\tWY 正弦光栅—衍射效率 !/SFEL@_B HN+z7 Q8hH
xC(PH?_ crQuoOl7 正弦光栅—效率与周期 (XQG"G%U6W DQd&:J@?
YQOGxSi (ydeZx 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 =*I9qjla[? tti.-
@B6[RZ R ;N|6C+y 闪耀光栅—效率与高度(TEA) l3,|r QD !*;)]j
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o<y7Ut pH%K4bV)8 闪耀光栅—衍射效率 5ym
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+?8nY.~,' Nf1l{N 闪耀光栅—效率与周期 -9mh|&z` Y`wi=(
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JW$#~"@r 4D8q Gti VirtualLab Fusion工作流程 ji "*=i rv+"=g |<E%hf • 设置光栅结构 Cpl\}Qn −使用界面配置光栅结构[用户案例] *k/_p^ • 分析光栅衍射效率 WE3l*7<@ −光栅阶次分析器[用户案例] F
1BPzRo` • 通过参数运行检查不同参数的影响 +#O?sI# − 利用参数运行文档[用户案例] : v]< h MkQSq
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