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摘要 f{w[H S,z
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 G e=|RAw3
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 E. 4 X, y:VY8a 4 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 `e }6/~R`
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skBzwVW I VirtualLab Fusion一瞥 jHM}({)-
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 Ov| Uux 3R[,,WAj$ VirtualLab Fusion工作流程 !K/zFYl <'92\ O @EGUQ|WL^
• 设置光栅结构 k4BiH5\hA
−使用界面配置光栅结构[用户案例] \++#adN:K
• 分析光栅衍射效率 T`r\y l}
−光栅阶次分析器[用户案例] #brV{dHV,
• 通过参数运行检查不同参数的影响 'H)l~L
− 利用参数运行文档[用户案例]
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