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摘要 ma]F%E+$
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 d;NFkA(df
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#Xw[i VirtualLab Fusion一瞥 _yB9/F
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VirtualLab Fusion工作流程 c)!s[o L yqb <<4I k mr
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• 设置光栅结构 / >. X+N
−使用界面配置光栅结构[用户案例] p+s PCF
• 分析光栅衍射效率 v?TJ!o
−光栅阶次分析器[用户案例] 3pv1L~ ZI
• 通过参数运行检查不同参数的影响 YB3=ij!K
− 利用参数运行文档[用户案例] M@X#[w:
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