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摘要 FWH}j0Gj| Hi_G 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 [m+iQVk' =)O,`.M.Y
RE.r4uOJg c9R5w.t: 建模任务 " P)*FT \c[IbL07
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$D31Q[p=+ fQLt=Lrp 正弦光栅—透射相位曲线 y8VpFa <o2r~E0r3
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Qu iYnEwAoN; 正弦光栅—透射相位曲线 KJE[+R H+z ]pEV}@7
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T+LJ*I4 .@iFa3 VirtualLab Fusion工作流程 ck#"*], Es 5 c= UU" • 设置光栅结构 \3Oij^l0 −使用界面配置光栅结构[用户案例] L.6WiVP) • 分析光栅衍射效率 dQezd-y* −光栅阶次分析器[用户案例] TJ?g% • 通过参数运行检查不同参数的影响 PR<||"03 − 利用参数运行文档[用户案例] 4^6.~6a 4!`bZ`_Bw
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