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摘要 c~;.m<yrf (b!DJ;(O9 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 y+h=x4t gRSG[GMV
wu'60po LnIJw D 建模任务 roQIP%h! |[ofc!/
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TA5M4r6 qI:wm= 正弦光栅—透射相位曲线 ['<rfK `dhK$jYD
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|(N4x(xl _)Ms9RN VirtualLab Fusion一瞥 Z3d&I]Tf E =E
jZGmTtx 2iu;7/ VirtualLab Fusion工作流程 -?[:Zn~$a |v+b?@ LYKepk • 设置光栅结构 =
~yh[@R) −使用界面配置光栅结构[用户案例] s`{O- • 分析光栅衍射效率 V}*b^<2o5 −光栅阶次分析器[用户案例] TBpW/wz/ • 通过参数运行检查不同参数的影响
7@`(DU`z − 利用参数运行文档[用户案例] wRKGJ "o1/gV
83h6>D b YG% Zw VirtualLab Fusion技术 g7F>o76M ,70|I{,Km
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