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摘要 n2:Uu>/
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 K9Onjs% U
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foY]RkW9 VirtualLab Fusion一瞥 YACx9K H
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 xF YHv@g >{A)d< VirtualLab Fusion工作流程 iAPGP -<6 mi5bk>o Jy[rA<x$
• 设置光栅结构 &|Rww\ oJ
−使用界面配置光栅结构[用户案例] .m%5Esx
• 分析光栅衍射效率 J-G)mvkv
−光栅阶次分析器[用户案例] G=CP17&h6
• 通过参数运行检查不同参数的影响 bP|-GCKM8
− 利用参数运行文档[用户案例] ; <6S\
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VirtualLab Fusion技术 n$>_2v
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