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摘要 t[f9Z
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 (IoPU +1b
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1'U%7#;E VirtualLab Fusion一瞥 1d@^,7MF-
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 wgR@M[]o; K[|P6J VirtualLab Fusion工作流程 bQN4ozSi 7E6?)bgh ~ {7N TW
• 设置光栅结构 A[$w xdc
−使用界面配置光栅结构[用户案例] qyBK\WqaP
• 分析光栅衍射效率 F=T.*-oS3
−光栅阶次分析器[用户案例] VQNH@g^gqr
• 通过参数运行检查不同参数的影响 sK9h=J;F/
− 利用参数运行文档[用户案例] "$"mWF-
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 53&xTcv}x c p?P@- VirtualLab Fusion技术 S| -{wC%
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