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摘要 &
yw-y4 = XjL( V1 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 % #|S ox)/*c< WqwD"WX+w ,P5HR+h 建模任务 Cvi-4 R:OoQ^c 8CMI\yk wwE9|'Ok 正弦光栅—效率与高度(TEA) ;Q-sie(# l$PO!JRD .'>r?%a `\#Qr|GC 正弦光栅—透射相位曲线 4oCnF+( d0|Q1R+3 At.WBa3j%{ R?^FO:nM%! 正弦光栅—透射相位曲线 iSHNt0Nl "PnYa)?1 Bg;bBA!L Pq;1EI 正弦光栅—衍射效率 _es>G'S +U@P+; g5/8u2d Jd/5Kx 正弦光栅—效率与周期 (9'MdH iZ)7%R?5 FL0[V, jhK&Z7; 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 %`%1W
MO ^8E/I]- Xdw%Hw 0d.lF: 闪耀光栅—效率与高度(TEA) mrk Q20D i^="*t\i b-%7@j k'
pu%nWN 闪耀光栅—透射相位曲线 C+O`3wPZp tz._*n83 67Ge}6*2pd Zb8i[1 P 闪耀光栅—衍射效率 KmpX^Se[ gXs@FhR0 P?\rRB et/mfzV 闪耀光栅—效率与周期 6 3Kec pO=bcs8Z Po9 3&qE ?RrJYj1 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 kRZ( }evc]?1( Q y$8!( }+ I
8l' VirtualLab Fusion一瞥 Pbd#Fu; ]Cbht\Ag" @q[-,EA9 l
AE$HP'o VirtualLab Fusion工作流程 [Zi\L>PHO sRt|G tE<L4;t • 设置光栅结构 goWD~'\ −使用界面配置光栅结构[用户案例] Ff%m.A8d,4 • 分析光栅衍射效率 V ;"?='vVe −光栅阶次分析器[用户案例] oa1&9 • 通过参数运行检查不同参数的影响 (f
$Y0;v>} − 利用参数运行文档[用户案例] |0A n|18 q{n~s= UyTq(7uo 7q$9\RR5 VirtualLab Fusion技术 /8J2,8vZ )<IbQH|_ OlMCF.W#3
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