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摘要 1P(|[W1 ,:`ND28V7 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 $2u 'N:o 2^)1N>"g
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(n1Bh~R^ 0oh]61gC VirtualLab Fusion一瞥 <F
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@VN&t:/ l #XnPsU<J VirtualLab Fusion工作流程 OgcHS? n$aA)"A # n9;;x%6 .I • 设置光栅结构 v?c 0[+? −使用界面配置光栅结构[用户案例] ]?h`:,] • 分析光栅衍射效率 [DHoGy,P −光栅阶次分析器[用户案例] IG?'zppjd6 • 通过参数运行检查不同参数的影响 ;Efcw[< − 利用参数运行文档[用户案例] ,+;:3gRk9 f/kI|Z
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