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摘要 'M?pg$ta_V #6y fIvap 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 B~Z61 A$~H`W<yxB
mGwJ>'+d 1h162 建模任务 \Rt>U|% #mM9^LJ
D}{]5R O d6'bO;G 正弦光栅—效率与高度(TEA) wko9tdC=U !}`[s2ji
ELG{xN=o a~VW?wq 正弦光栅—透射相位曲线 PHez5 }T \(?d2$0m
:hB6-CZkqN 1_xkGc-z< 正弦光栅—透射相位曲线 ,o
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_M>S =3w E^w0X,0XlE 正弦光栅—衍射效率 gpbdK? %0u5d$b q
E-9>lb O#^qd0e'P! 正弦光栅—效率与周期 _s=<Y^l%x Q&&=:97d
-G1R><8[ RLw/~ 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 H?=[9?1wI5 5P('SFq'=
*=%`f= C-Y7n5 闪耀光栅—效率与高度(TEA) 8M['- ARJtE@s6Y
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fR`3 闪耀光栅—衍射效率 nwDW<J{f|U Ko0T[TNkh
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b9G VirtualLab Fusion工作流程 tgrZs8? yAJrdY" QSo48OFs • 设置光栅结构 I\82_t8 −使用界面配置光栅结构[用户案例] cc3+Wx_ • 分析光栅衍射效率 {*Qx^e`h$. −光栅阶次分析器[用户案例] cl'qw## • 通过参数运行检查不同参数的影响 ns[h_g!j; − 利用参数运行文档[用户案例] Nu}Zsb|{ i:^
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