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摘要 N..u<06j/ sF|$oyDE 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 /g8yc'{p k(7!W qt1#P ioviJ7N%
O 建模任务 leD?yyjw7 Y] n^(V @TH \hr] D~%cf 正弦光栅—效率与高度(TEA) vAVoFL l s_i)X PNKmI 'kC $R;#\7 正弦光栅—透射相位曲线 ]>AW TQEZ<B$ ("TI~ '!Sj]+ 正弦光栅—透射相位曲线 `#(4K4]1. $]T7Iwk @
J"1!` UtWoSFZ'o! 正弦光栅—衍射效率 m.$Oo
Mu' [lnN~#(Y $:xUXEi{ 6iTDk 正弦光栅—效率与周期 %
,X(GwX N2~z&y8. c^=:]^ dB/Epc& 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 ~bwFQYY= e)iVX<qb <D 5QlAN Cr[#D$::` 闪耀光栅—效率与高度(TEA) gr7W&2x7\ (&x[>):6? .6tz ^4 :*8@MjZ4 闪耀光栅—透射相位曲线 `hfwZ*s "RG.vo7b Te.hXCFD xA-G&oC]<T 闪耀光栅—衍射效率 c]n4vhUa5 E+01"G<Q J:Qp(s-N^: :wF(([&4p! 闪耀光栅—效率与周期 ' 1mygplW i|=XW6J% TJVNR_x eHjR/MMr_ 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 %TR->F 7.=u:PK7kM d82IEhZ# g3qtWS VirtualLab Fusion一瞥 9~4Kbmr>q z1L. 2AlLcfAW xqG`
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l VirtualLab Fusion工作流程 \q,w)BE N-NwGD{ qD9B[s8 • 设置光栅结构 B8P%4@T −使用界面配置光栅结构[用户案例] YZnrGkQ • 分析光栅衍射效率 mtF&Z\ag −光栅阶次分析器[用户案例] 7N""w5 • 通过参数运行检查不同参数的影响 [Y:HVr, − 利用参数运行文档[用户案例] L@+j8[3BX foN;Q1?lS $]hf2Yr( 5Ut0I]h|z VirtualLab Fusion技术 L72GF5+!! |6uEf/*DX R
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