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摘要 Ta/zDc"e aG~zMO_)] 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 X[H .t$w5A OPE+:TvW^
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NdHG6 VirtualLab Fusion一瞥 g{sp<w0 2^Im~p~ByE
sUmpf 4/ `W_&^>yl VirtualLab Fusion工作流程 [Y.JC'F# rr(kFQ" gpzFY"MS= • 设置光栅结构 R1Q,m −使用界面配置光栅结构[用户案例] Q<MxbHk9 • 分析光栅衍射效率 )G, S7A −光栅阶次分析器[用户案例] }1V+8'D • 通过参数运行检查不同参数的影响 sGNHA(; − 利用参数运行文档[用户案例] CKe72OC _99 +Vjy
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KV% VirtualLab Fusion技术 33eOM(`D[ lFcHE c
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