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摘要 xRh 22z aO' #!k*R 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 $L/`nd (80m'.X
IG^@VQ% 7Uenr9)M 建模任务 ATs_d_Sz &2tfj(ms
\x<8 ^6s im 2 正弦光栅—效率与高度(TEA) \[MAa:/ eADCT
Uj!3MF <:S qMf 正弦光栅—透射相位曲线 fQ<sq0'e\ m^A2
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'a~@q~! pj>R9zpn_ 正弦光栅—透射相位曲线 /3b*dsYsl SI7rTJ]/
1NZ"\9=U z0 "DbZ;d 正弦光栅—衍射效率 8D*7{Q l]*RiK2AC
VvhfD2*T ;blL\|ch; 正弦光栅—效率与周期 f|d~=\0y +3v)@18B1
u$nzpw0=H y=3 dGOFB 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 59E9K)c3 h@,ja
@C;1e7 JF=R$! 5 闪耀光栅—效率与高度(TEA) :qzg?\( @r"\bBi
!>`Q]M` bLc5$U$!I 闪耀光栅—透射相位曲线 WgNA%.|, "HOZ2_(o
6= ?0&Bx& ]!hjKu" 闪耀光栅—衍射效率 WogUILB #CS>_qe.{
M8},RR@{ k8gH#ENNK 闪耀光栅—效率与周期 vq$6e*A qGinlE&\
&Vlno* EC+t-:a] 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 OSu&vFKz z/7q#~J,
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Q VirtualLab Fusion一瞥 PRhC1# {oQs*`=l>
s:T%,xS UHl3/m7g VirtualLab Fusion工作流程 mGT('iTM4 "x,lL pc`P;Eui • 设置光栅结构 )nm+_U −使用界面配置光栅结构[用户案例] JPI%{@Qc^ • 分析光栅衍射效率 j=sfE qN). −光栅阶次分析器[用户案例] C5 ~#lNC • 通过参数运行检查不同参数的影响 `z!AjAT-G − 利用参数运行文档[用户案例] Y\
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*C*J1JYp+ .f~9IAXP` VirtualLab Fusion技术 x'|ty[87 De$~ *2
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