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摘要 ."R,j|o 6
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 }5H3DavW
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~;nh|v/e VirtualLab Fusion一瞥 [F4] pR(
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 L=4% MyZ.e 3B#qQ# VirtualLab Fusion工作流程 9~i=Af@ !t/I
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• 设置光栅结构 oUrNz#U
−使用界面配置光栅结构[用户案例] BH"f\oc
• 分析光栅衍射效率 R&Y+x;({
−光栅阶次分析器[用户案例] rnW(< t"
• 通过参数运行检查不同参数的影响 D+G?:m R
− 利用参数运行文档[用户案例] Z _W.iBF
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