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摘要 ^E/6 v G
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 UBW,Q+Q
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 V1Ft 3Msq 93Gj#Mk 正弦光栅—效率与周期 [H!do$[>
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 z{BgAI , aW_Y 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 OSuQ 7V
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3^H-,b0^ VirtualLab Fusion一瞥 wmbG$T%k
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 !6taOT>v }`0=\cKqn VirtualLab Fusion工作流程 dJQwb RK&RMN8@ T|$tQg Y^
• 设置光栅结构 {J)gS
−使用界面配置光栅结构[用户案例] rx#GrV*y
• 分析光栅衍射效率 Wxj(3lg/
−光栅阶次分析器[用户案例] 4%y eEc ;z
• 通过参数运行检查不同参数的影响 { O=_c|u{N
− 利用参数运行文档[用户案例] 66W J=? JV
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