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摘要 y4^w8'%MC BAJEn6f? 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 \v*WI)] c:$W5j('Z
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&rj)Oh2 pI>[^7 VirtualLab Fusion工作流程 P>i!f!o*I j\uh]8N3< l?UFe$9( • 设置光栅结构 "6<L)
8 −使用界面配置光栅结构[用户案例] Q8~|0X\.g • 分析光栅衍射效率 WqHsf1?N −光栅阶次分析器[用户案例] $&C~Qti|G • 通过参数运行检查不同参数的影响 n@`:"j%s_ − 利用参数运行文档[用户案例] dpTeF`N zo^34wW^
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