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摘要 Zf$mwRS[_
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 mZiKA-t
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 wqG#jC!5 #x.v)S 正弦光栅—效率与高度（TEA） vd%AV(]<LJ ozY$}|sjDT
 X@kgc&`0 ~7b# B XzP 正弦光栅—透射相位曲线 +(!/(2>~
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 ?n# $y@U ]U#of O 正弦光栅—效率与周期 (g@X.*c8
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 GJWGT`" e ;v"d!H/ 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 4M% |N
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 `Hw][qy# -~c-mt 闪耀光栅—效率与高度（TEA） Z'A 3\f
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 E- 1u_ 7 RL&0?OT 闪耀光栅—衍射效率 }bRn&)e
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#8L: .,AYE VirtualLab Fusion一瞥 bp/l~h.7W
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 8g:VfzaHu iOfO+3'Z_U VirtualLab Fusion工作流程 ! \| Xl1% c7r.1 N?t*4Y
• 设置光栅结构 PZru:.Mh
−使用界面配置光栅结构[用户案例] E5A"sB
• 分析光栅衍射效率 3~R,)f O ;
−光栅阶次分析器[用户案例] KC&X OI %
• 通过参数运行检查不同参数的影响 dSKvs"
− 利用参数运行文档[用户案例] P(yLRc
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