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摘要 '@hnqcqXq xU.Ymq& 5 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 :/Y4I)' M tDJ1I%
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-@_V|C'? M}6? |ir VirtualLab Fusion一瞥 {YgB?kt5 9Lxj
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r*l:F{ >;@hA*< VirtualLab Fusion工作流程 9Ic~F^ w,FOq?j^k @oL<Ioh • 设置光栅结构 XmoS$/#" −使用界面配置光栅结构[用户案例] bMw)>4 • 分析光栅衍射效率 PUViTb −光栅阶次分析器[用户案例] `5Qo*qx • 通过参数运行检查不同参数的影响 3$`qy|=zO − 利用参数运行文档[用户案例] pb5'5X+ sj @'C@oK
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