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摘要 vA10'Gx '
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 6-{QU] #
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 2v0lWO~c7z 5Y"JR WC 建模任务 hug8Hhf_&
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闪耀光栅—效率与高度（TEA） a02@CsH
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闪耀光栅—衍射效率 W6_/FkO
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.YKqYN?y4 VirtualLab Fusion一瞥 E#X(0(A)
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 =t\HtAXn[ 1nhC! jDD VirtualLab Fusion工作流程 p@!{Sh )G+D6s23 _n~[wb5 J
• 设置光栅结构 :abpht
−使用界面配置光栅结构[用户案例] \3bT0^7B
• 分析光栅衍射效率 #TUu k
−光栅阶次分析器[用户案例] ByU&fx2Z
• 通过参数运行检查不同参数的影响 +< })`(8
− 利用参数运行文档[用户案例] XI5TVxo(q
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 7QX p\<7 Zws[C VirtualLab Fusion技术 hJc^NU5
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