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摘要 v"ORn5
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 X5/fy"g&
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D1-/#QN$1 VirtualLab Fusion一瞥 M&/4SVBF
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 QObVJg,GD [Lje?M* r VirtualLab Fusion工作流程 QAxy ?m,' {0F/6GwUC wg)Bx#>\L:
• 设置光栅结构 BZ.l[LMp
−使用界面配置光栅结构[用户案例] {~O4*2zg;K
• 分析光栅衍射效率 %$zak@3%'
−光栅阶次分析器[用户案例] OW};i|
• 通过参数运行检查不同参数的影响 ~
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− 利用参数运行文档[用户案例] l2 n`fZL
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