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摘要 9:E.Iy f{(D+7e} 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 \x8'K o6:]Hvqjr
C,<FV+r=^ criNeKa 建模任务 /|v
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x\Kt}/9 7e Mg\8m-L^ VirtualLab Fusion一瞥 3?wL)6Uj8J zm=|#f
iGIry^D )!=X?fz,O VirtualLab Fusion工作流程 4FJA+ `_pVwa<@w 7@ !3.u1B • 设置光栅结构 ]l=iKl −使用界面配置光栅结构[用户案例] 4{ED~w| • 分析光栅衍射效率
4{D^ 4G −光栅阶次分析器[用户案例] W!b'nRkq • 通过参数运行检查不同参数的影响 |I=GI]I − 利用参数运行文档[用户案例] '.t{\ +)*oPSQ5
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@}o 9 xbZR/!? VirtualLab Fusion技术 /9
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