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摘要 @Qs-A^. j&Hn`G 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 =O;SXzgE \OU+Kl<
7&At_l_ 4]B3C\
v 建模任务
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R82Y&s; pt4xUu{ 正弦光栅—效率与高度(TEA) *cf"l 2YN`:"
}=|ZEhtOp %b{!9-n} 正弦光栅—透射相位曲线 Qi[D&47XO
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[ 正弦光栅—透射相位曲线 !X8UP{J)L m@,>d_|-K-
r{Q< a zOE6;c81 正弦光栅—衍射效率 pMquu&Td yhdG 93
>1~`tP h]Oplp4\W 正弦光栅—效率与周期 5qr!OEF2 hX_p5a1t
{@#L'i| 84!4Vz^ 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 =_dd4`G&< 68c;Vb
^<VE5OM JKT+ q*V 闪耀光栅—效率与高度(TEA) 1!`768 wY.g-3
gk z#kiGF 9Bk}g50$# 闪耀光栅—透射相位曲线 )A0&16< 'U"3'jh
lkZC?--H oPy zk7{ 闪耀光栅—衍射效率 8@aS9th$ 4) 3pa*
na3kHx@ X{xJ*T y' 闪耀光栅—效率与周期 BNCJT$tYX }AiS83B
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{@ y, qX'a&~s)n VirtualLab Fusion一瞥 (YJAT r65NKiQD
_A|\.(t `7%eA9*.m VirtualLab Fusion工作流程 ?+O|mX}`- ,;P`Mf'YC 5SL>q`t.bd • 设置光栅结构 c'+r[rSn1 −使用界面配置光栅结构[用户案例] >v_5xd9 • 分析光栅衍射效率 aF{i
A\ −光栅阶次分析器[用户案例] gqD^Bs'VF • 通过参数运行检查不同参数的影响 ]GtR8w@w − 利用参数运行文档[用户案例] C)96/k W:poUG1UR
d+2O^of:T |J Q:.h VirtualLab Fusion技术 `VFl|o#H .(1j!B4^
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