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摘要 nm#ISueh DUrfC[jpv 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 \p4>onGI YL?2gBT
d9=i{i3 bwR$910b 建模任务 _BFDsQ xdLMy#U2
P^3`znq{ ;{L ~|q J 正弦光栅—效率与高度(TEA) Bm>>-nG; yf4I<v$y
@5RbMf{ iY,FfuE 正弦光栅—透射相位曲线 hr@kU x #Vy8<Vy&w
AONEUSxJ B}(r>8?dm 正弦光栅—透射相位曲线 ?td`*n~, 8NZQTRdH
8l.bT|#O G+~f 正弦光栅—衍射效率 mAM:Q*a' L*6R5i>
V|{\8&2 jd.{J{o 正弦光栅—效率与周期 ?W 6
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H 8x66} .vnQZ*6 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 \<aR^Sj. XN^l*Q?3n
$ucDzf=o FoQy@GnM5 闪耀光栅—效率与高度(TEA) y9Q#%a8V 9,?7mgZp
Q 2>o+G drQI@sPp 闪耀光栅—透射相位曲线 `nCVO;B f6,?Yex8B
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gF>t+"+x *B)J(^M!q 闪耀光栅—效率与周期 V7"^.W* GU|(m~,`
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kW ffQm"s:P VirtualLab Fusion一瞥 x~JOg57up der\"?_.
l*w*e.ezQ BR-4L2[ VirtualLab Fusion工作流程 vD^Uod1 8AJ#].q0F a$5P\_ • 设置光栅结构 @R_ON"h −使用界面配置光栅结构[用户案例] g/4ipcG;N • 分析光栅衍射效率 C jGQ −光栅阶次分析器[用户案例] af'gk&% • 通过参数运行检查不同参数的影响 JRR,ooN*i − 利用参数运行文档[用户案例] {G+iobQdd 4-?zW
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