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摘要 AT{rg/oSf
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 ( g HCu
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XVfw0-O VirtualLab Fusion一瞥 B{ tROuN<
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VirtualLab Fusion工作流程 @L ,4JPk 5"9 '=LV~ N?s`a;Q[=
• 设置光栅结构 <~teD[1k"
−使用界面配置光栅结构[用户案例] j"r7M|Z+V
• 分析光栅衍射效率 =&t]R?
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−光栅阶次分析器[用户案例] &d ky_ H
• 通过参数运行检查不同参数的影响 8pXqgIbmb
− 利用参数运行文档[用户案例] d+WNg2# v
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 Ws/\ lD ]%2y`Jrl^W VirtualLab Fusion技术 lx{ '
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