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摘要 eR3MU]zF b+CvA(* 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 V|nJ%G\ :4"b(L
z^%`sUgP 1ahb:Mjv 建模任务 Dl}va j{/wG::
W%9"E??c L>57eF)7 正弦光栅—效率与高度(TEA) V0F1X s` 1py>[II@
ty9(mtH+ 4%TmW/yd 正弦光栅—透射相位曲线 PC!X<C8* 8{CBWXo$)
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xy<)zKp Jd/XEs?<q VirtualLab Fusion一瞥 ~2U5Wt ltG|#(
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+!2h VirtualLab Fusion工作流程 nA XWbavY A ]~%<=b T#R*] • 设置光栅结构 EcmyY,w −使用界面配置光栅结构[用户案例] TInp6w+u • 分析光栅衍射效率 w<=-n;2 −光栅阶次分析器[用户案例] x?-kt.M • 通过参数运行检查不同参数的影响 %KmhR2v − 利用参数运行文档[用户案例] KH76Vts BYsQu.N
83YQ c [5jXYqD=vj VirtualLab Fusion技术 }q[IhjD% V']1j
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