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摘要 Wc@
,#v $#rkvG_w 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 T";evM66 /si<Fp)z
W` x.qumN dfFw6R 建模任务 'HWl_M 8&EJ.CQ
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9n(68|^$ 5 tKgm / 正弦光栅—透射相位曲线 0d+n[Go+S Pg}QRCB@
$I9&cNPv EK# 11@0% 正弦光栅—透射相位曲线 I0x)d` v*V(hMy
@XJ7ff& a]p9[Nk 正弦光栅—衍射效率 BWxfY^,'&6 ~u%$ 9IhM
azZtuDfv /xUF@%rT 正弦光栅—效率与周期 {}s/p9F4 tMw65Xei6b
93*d:W8Vr g-K;J4 K% 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 E_~e/y"- [;wJM|Z J0
;B@#,6t/ _&]7 闪耀光栅—效率与高度(TEA) :fj>JF\[ 2-@)'6"n
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z-MQGqxR H5 z1_O_+ 闪耀光栅—衍射效率 BI%^7\HZ (2eS:1+'8
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)P7ep DY#195H VirtualLab Fusion一瞥 E"'u2jEG^ =RHtugwy
?lkB{-%rQ EmaS/]X[ VirtualLab Fusion工作流程 ulzX$ H<|}pZ MB;rxUbhe3 • 设置光栅结构 [z"E"_r~%Y −使用界面配置光栅结构[用户案例] %l8!p'a • 分析光栅衍射效率 ;"cQ)=s9Y −光栅阶次分析器[用户案例] .nZKy't • 通过参数运行检查不同参数的影响 ~IYR&GEaUG − 利用参数运行文档[用户案例] ;.AMP$o`(Y &jY|
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