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摘要 $^K12Wcp- jNbU{Z%r 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 %4$J.6M vV
PK }5b,u6 Z [Q jl* 建模任务 dy"7Wl]hi7 ~rfUqM]I *8% nbR mb GL)NI 正弦光栅—效率与高度(TEA) zE8qU; G=(ja?d *KYh_i =v !'? 正弦光栅—透射相位曲线 J]ri|a oK@_
Hfo/\\ $aC%&&+wG 正弦光栅—透射相位曲线 ],|; Bk;/>gD os[i %) /Bl.{}< 正弦光栅—衍射效率 2{A/Fbk lz:+y/+1 yD yMI tSX,*cz 正弦光栅—效率与周期 R+<M"LriR& ~Q2,~9Dkc :F.eyA|#@G Hdda/?{b 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 V8947h|& _edT+r>+ W61nJ7@ 1Q!^%{Y; 闪耀光栅—效率与高度(TEA) +![\7 [&5%$ T S]<%^W' oV;I8;#\J 闪耀光栅—透射相位曲线 AiUK#I Clmz}F O[5u6heNMr U&OE*dq 闪耀光栅—衍射效率 &d 6 `7jdV K{__rO 4*?JU
v 闪耀光栅—效率与周期 VI;)VJbq ;T|hNsSt *k
!zdV mApl}I 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 +<7a$/L?4 (R^Ca7F ^cI 0d,3= 9D H}6fO VirtualLab Fusion一瞥 Ji;R{tZ.R i3<ZFR (I ~r~5^ /F_(&H!m VirtualLab Fusion工作流程 !A#(bC Z:Nm9m B+n(K+ • 设置光栅结构 &)F#cVB −使用界面配置光栅结构[用户案例] C^9bur/ • 分析光栅衍射效率 #2Z\K>L −光栅阶次分析器[用户案例] NSDls@m • 通过参数运行检查不同参数的影响 $LJCup,1" − 利用参数运行文档[用户案例] KO&oT#S w<G'gi] B$&&'i% Qh!h "] VirtualLab Fusion技术 "Rq)%o$Z _?~)B\@~0 O`2hTY\
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