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摘要 "XvM1G&s`
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 wXj!bh8\r
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r VirtualLab Fusion工作流程 EQ;,b4k?&g 8Z^9r /%*Z `#X\@?'5
• 设置光栅结构 (|(#W+l~
−使用界面配置光栅结构[用户案例] `L-GI{EJ
• 分析光栅衍射效率 ,+ iREh;
−光栅阶次分析器[用户案例] $#b gt
• 通过参数运行检查不同参数的影响 o0f{ePZ=
− 利用参数运行文档[用户案例] OZHQnv Z
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 (x.O]8GKP sQBl9E'!be VirtualLab Fusion技术 U\_-GS;1
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