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摘要 w-[A" M]I
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 #7 wOr78
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t@ a2@dX| VirtualLab Fusion一瞥 U! GG8;4
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( VirtualLab Fusion工作流程 6LGy 0dWpG [Rz9 Di ; 3Mvm'T:[
• 设置光栅结构 M EOVw[hO
−使用界面配置光栅结构[用户案例] =:T p H>f*
• 分析光栅衍射效率 sqAZjfy@
−光栅阶次分析器[用户案例] YTiXU Oj
• 通过参数运行检查不同参数的影响 P= e3f(M2
− 利用参数运行文档[用户案例] rKlu+/G
Ms^U`P^V~P
 cx]&ae * &ct y&(2p VirtualLab Fusion技术 ZH9sf ~7
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