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摘要 6^V( C;5!
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 a73VDQr I
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 f{O-\ y( 22m+B 正弦光栅—透射相位曲线 +zk5du^gZ
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 cfv: Ld m 5[B)U">] 闪耀光栅—效率与高度（TEA） D4y!l~_,%M
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|&-*&)iD|w VirtualLab Fusion一瞥 R1Q,m
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 )G , S7A }1V+8'D VirtualLab Fusion工作流程 sGNHA( ; CKe72OC <Z_\2
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• 设置光栅结构 9eP*N (m<
−使用界面配置光栅结构[用户案例] e ]; IQ|
• 分析光栅衍射效率 o%z^@Cq
−光栅阶次分析器[用户案例] 9
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• 通过参数运行检查不同参数的影响 yil5 aUA
− 利用参数运行文档[用户案例] Kx,X{$Pe
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