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摘要 MqUH',\3
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 IaXeRq?<
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 U /l&tmIVY Q:k}Jl VirtualLab Fusion工作流程 X ))/ m[_[ +Kbjzh3<wG AogV F
• 设置光栅结构 .MoU1n{Yc
−使用界面配置光栅结构[用户案例] sZ/v^ xk
• 分析光栅衍射效率 &H/'rd0M
−光栅阶次分析器[用户案例] !_'ur>iR
• 通过参数运行检查不同参数的影响
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− 利用参数运行文档[用户案例] z !rL
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