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摘要 *Fi`o_d9[` wt0^R<28 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 L}T:Y). $!)Sgb
s<Px au+A .'k]]2%ILp 建模任务 BU(:6 tpOMKh.`
DN3#W w2[r bi;?)7p&ZY 正弦光栅—效率与高度(TEA) ;jS2bc:8a bw\fKZ
%{WZ Q\|72NWS 正弦光栅—透射相位曲线 WDQtj$e+ 78zjC6}`
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正弦光栅—透射相位曲线 RZ 4xR VrLU07"0n
8|*#r[x z ea=vx>` 正弦光栅—衍射效率 \i_y(; kzU;24"K
i i&{gC x}o]R 正弦光栅—效率与周期 v0hr ~1 Q M7z
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Z)}q=NjA ]+A>*0#" 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 eLE9-K+ b*$/(2"m
E/ %S0 bU'{U0lM 闪耀光栅—效率与高度(TEA) CY2DxP % \bAsn89O
3&i8C,u]/O 09?n5x!6 闪耀光栅—透射相位曲线 /?X1>A:* [P#^nyOh(
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mw}obblR 闪耀光栅—衍射效率 * ;A I0 'TclH80
cGSoAK AMqu}G 闪耀光栅—效率与周期 etF?,^)h=g T=7V+
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DJgk"' -k\7k2 VirtualLab Fusion一瞥 Wo5G23:xz @ [_I|
L;.6j*E* aq3evm VirtualLab Fusion工作流程 J)(H-xvV z.23i^Q 9m56oT'U{ • 设置光栅结构 HC
w$v# −使用界面配置光栅结构[用户案例] o*/\oVOq • 分析光栅衍射效率 jM
J[6qj −光栅阶次分析器[用户案例] aA%$<ItH • 通过参数运行检查不同参数的影响 'ntb.S) − 利用参数运行文档[用户案例] "Gcr1$xG8! Cq1t[a
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