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摘要 FA \U4l-
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 D SWmQQ
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HwZl"!;Mry VirtualLab Fusion一瞥 W[qy4\.B
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 b S gbvnJ :dRC$?f4 VirtualLab Fusion工作流程 9wGsHf8] J~om e7L XEagN:
• 设置光栅结构 FE^/us7r
−使用界面配置光栅结构[用户案例] QT73=>^B
• 分析光栅衍射效率 j (Q# NFT7
−光栅阶次分析器[用户案例] .taP2^2Z
• 通过参数运行检查不同参数的影响 +:=FcsY
− 利用参数运行文档[用户案例] _j3rs97@|
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 |r,})o> jb,a>9 ]p VirtualLab Fusion技术 p~=z)7% e'
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