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摘要 *QQeK#$s lpXGsKH2 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 r#OPW7mhE h^g0|p5
Xf4~e(O 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) e*Wk;D& D% j GK 建模任务 L2>e@p\> !JXiTI!
(tYZq86` 1
tOslP@ 单次FMM仿真结果 qFWN._R <8}FsRr;J
B>nj{W<o 6FzB-], 参数扫描(1D) [2-n*a(q -)(5^OQ
?Kgb-bXB l WYp 参数扫描(2D) :|n[z jK/S 'S3<' X LWCFCkx%
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