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摘要 MlLb|!,)T
z'uK3ng\hH 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 7j nIv];i
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 s"Pf+aTW 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） meN2ZB ?Y
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w39\urf 建模任务 J|'7_0OAx
t mqY2.
 p-1 3H0Kt asY[ 8r?U 单次FMM仿真结果 rQ7+q;[J
<SI}lQ'i
 5@^ dgq yHxosxd<* 参数扫描（1D） ]4;PR("aU
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 A:7k+4 wy wQ<n 参数扫描（2D） wdUBg*X8 Q WMdn  !S& L*OH,
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