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摘要 CwQgA%)!i \}Jy=[ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 I"4j152P| D!kv+<+
4oT1<n`r+ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) {O,D9 < utxT$1iJn~ 建模任务 $v?+X20 r3oAP[+n
-o<L%Y<n2 'f9fw^ 单次FMM仿真结果 E%\j R 7pDov@K<{
N.OC _H& & IVwm" 参数扫描(1D) MhN)ZhsC (.,`<rXw
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