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摘要 @1+gY4g 29a~B<e7s 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 C)x>/Qr ~ ,iUWLcOM '?j[hhfB- 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) xIOYwVC q mJ#cmN 建模任务 UY(pKe> 0m3:!#\
\`ya08DP( }MUQO<=* 单次FMM仿真结果 O4)'78ATp B^7B-RBi0 2p^Jqp`$ @2yoy&IO 参数扫描(1D) ;u:A:Y4V |:H
9#= ~__r-z /$EX-!ie 参数扫描(2D) EgE%NY~ 3^jkd)xw teQ<v[W.
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