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摘要 AG;KXL[V zqQ[uO]m? 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 F$:UvW@e1 .SSyW{a3w P{J9#.Zq&s 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) QOPh3+.5 FGm!|iI 建模任务 5'`DrTOA *.D{d0A -Oz! GX n\BV*AH 单次FMM仿真结果 z/p^C~|} ,":_CY4( 7A$mZPKh 2#/sIu-L 参数扫描(1D) ;K4uu<e\ TT#V'r\ W+4Bx=Mj Are0Nj&? 参数扫描(2D) Dk2Zl 4N3O<)C)@ SD@ 0X[
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