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摘要 vuBA&j0C e%6{P 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 |T *qAJ8c <J-Z;r(gQN R:?vY! 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) MFuI&u!g: avu,o 建模任务 8
-A7 $:!T/*p* )AXH^& :g#it@
单次FMM仿真结果 8[;oUVb5 A#&qoZ(C C&kl*nO ton`ji\^ 参数扫描(1D) N1~$ + nX%'o`f tL{~O= <|3v@ 参数扫描(2D) 3ohcHQ/a Ws)X5C=A vp-7>Wj
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