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摘要 }(J6zo9(x
\u,hS*v0 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 e&F,z=XJ}
U,Z.MP Q
 g9I2SdaJ 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） NK*~UePy
W ;Iv R 建模任务 V
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 t ba%L XXmtpM8 单次FMM仿真结果 ZWmmFKFG.
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