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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 XNkZ^3mq  
    pE]s>T a  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 K^[Dz\ov5  
    eq4Yc*|9  
    d?jzh 1  
    e~G um  
    系统内光栅建模 4#D>]AX  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 hx!hI1   
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 9{R88f?;  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 !@f!4n.e|I  
    7HQ|3rt  
    :w26d-QR(  
    m$^v/pLkM  
    附着光栅堆栈 I*= =I4qx  
    0?,%B?A8O  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 KiMEd373-  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 2]_fNCNLN  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 I~>Ye<g#  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 q=/ck  
    Si=u=FI1e  
    fTV3lyk  
    @l&>C#K\  
    堆栈的方向 }&/_ S  
    $McbVn)~f  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: O`'r:&#W  
    ^}<h_T?<_-  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 *l8:%t\  
    f26hB;n  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 j<'ZO)q`Q  
    ~d&W;mef-  
    fqD1Ej  
    oGqbk x  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 G>j4b}e  
    e'5sT#T9l  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 dW"=/UW  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 zr1A4%S"  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 \WZ]'o6  
    MI|anM  
    gwv s  
    0tp3mYd  
    高级选项和信息 fV5MI[ t  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 "1>48Z-UC  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 >Ef{e6  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 H4IJLZ3G  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 TCetd#;R  
    (@;=[5+  
    9*j$U$:'  
    okQ<_1e{  
    结构分解 ;wj8:9 ;  
    3YJa3fflK  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 \LQ54^eB  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 v0'`K 5M  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 Z-rHYfa4  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 fHR^?\VVp  
    +:#UU;W  
    pn-`QB:{h  
    m}o4Vr;"  
    光栅级次通道选择 }\/ 3B_X6N  
    2mfKy9QxO  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 h!q_''*;  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 ,K~r':ht  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 8$V:+u  
    ><3!J+<?  
    {~+o+LV  
    T~- OC0  
    光栅的角度响应 !OL[1_-4|K  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 *_CzCl^   
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 xty)*$C>  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 IH$ZPux  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 .Arcsg   
    N Obw/9JO  
    #Zt(g(T  
    ,7mB`0j>  
    例:谐振波导光栅的角响应 7dtkylW  
    #/LU@+  
     Va3/#is'  
    Y]])Tq;h5  
    谐振波导光栅的角响应 b_rHt s  
    ?Oyps7hXx  
    $hq'9}ASOL  
     
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