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摘要 XNkZ^3mq pE]s>Ta 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 K^[Dz\ov5 eq4Yc*|9
d?jzh1 e~G um 系统内光栅建模 4#D>]AX 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 hx!hI1
这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 9{R88f?; 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 !@f!4n.e|I 7HQ|3rt
:w26d-QR( m$^v/pLkM 附着光栅堆栈 I*=
=I4qx 0?,%B?A8O 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 KiMEd373- 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 2]_fNCNLN 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 I~>Ye<g# 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 q=/ck Si=u=FI1e fTV3lyk @l&>C#K\ 堆栈的方向
}&/_ S $McbVn)~f 堆栈的方向可以用两种方式指定: O`'r:W ^}<h_T?<_- 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 *l8:%t\ f26hB;n 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 j<'ZO)q`Q ~d&W;mef- fqD1Ej oGqbk x 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 G>j4b}e e'5sT#T9 l 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 dW"=/UW 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 zr1A4%S" 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 \WZ]'o6 MI|anM
gw v
s 0tp3mYd 高级选项和信息 fV5MI[t 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 "1>48Z-UC 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 >Ef{e6 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 H4IJLZ3G 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 TCetd#;R (@;=[5+
9*j$U$:' okQ<_1e{ 结构分解 ;wj8:9
; 3YJa3fflK 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 \LQ54^eB 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 v0'`K 5M 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 Z-rHYfa4 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 fHR^?\VVp +:#UU;W
pn-`QB:{h m}o4Vr;" 光栅级次通道选择 }\/
3B_X6N 2mfKy9QxO 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 h!q_''*; 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 ,K~r':ht 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 8$V:+u ><3!J+<?
{~+o+LV T~-OC0 光栅的角度响应 !OL[1_-4|K 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 *_CzCl^
对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 xty)*$C> 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 IH$ZPux 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 .Arcsg N
Obw/9JO
#Zt(g( T ,7mB`0j> 例:谐振波导光栅的角响应 7dtkylW #/LU@+
Va3/#is' Y]])Tq;h5 谐振波导光栅的角响应 b_rHt
s ?Oyps7hXx
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