-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-02-21
- 在线时间1734小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 SAswP c`I`@Bed 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 H@%Y!z@\ 6Ouy%]0$I3
ilL] pU- b6BeOR*ps 系统内光栅建模 ]l.y/pRP5[ 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 o(5Xj$Z 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 I8
Ai_^P 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 ':6!f Z'iXuI49
Q.:SIBP hKP!;R 附着光栅堆栈 2@WF]*Z T1yJp$yD" 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 to@ O 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 sLh9=Kh` 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 {~7VA 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 v~i/e+.h>y ~ldqg2c gE8p**LT+ sp*_;h3' 堆栈的方向 7N0V`&}T dX|(n.} 堆栈的方向可以用两种方式指定: |4NH}XVYJ> `PK1zSr 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 w7}m
T3p,) ;QbMVY 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 m }I@:s2 tpp. 9 td{M%D,R" _r0[ z 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 y\7 -! kx=.K'd5H 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 ]H8,} 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 Y(QLlJ*)/ 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 U6V+jD}L] lrg3n[y-l
CC,_I>t $OMTk 高级选项和信息 Lk{ES$ 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 ^6Y4= 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 t3%[C;@wB 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 ^b)8l 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 5*QNE! Ul#||B .c{
tVJ}NI # ?g*#ld() 结构分解 f4Aevh: 1"k"<{% 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 It.G-( 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 \]pRu" 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 =@w,D.5h 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 KDD_WXGt~ lt 74`9,f
PYWp2V/ f?)BAah 光栅级次通道选择 (dZu& p^1s9CM% 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 dd4g?): 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 6^
UQ{P1; 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 owYf1=G >
cFH=um
!bEy~. @64PdM!L 光栅的角度响应 k@QU<cvI 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 D|`O8o?) 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 6
6S
I 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 7P!<c/ E 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 uA#uq^3 *xY}?vSs
Bn>"lDf, Lo"w,p`n@ 例:谐振波导光栅的角响应 Jv*[@
-.k Fy(-.S1
h>>KH*dQ xb`,9.a7 谐振波导光栅的角响应 |ymw])L 8}9B*m
Ww8<f$
|