-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2024-12-27
- 在线时间1616小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 l-[5Zl;" k,[[
CZ0j 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 HR?a93 NbhQ- Yp9%u9tNq 7{
QjE 系统内光栅建模 ')E4N+h/ 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 {=E,.%8 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 ]-u>HO g\ 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 |\q@XCGei LBhDP5qF v;R+{K87 p{rzP,Pb& 附着光栅堆栈 DGx<Nys@B ZL- ` 3x 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 s#)tiCSVW 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 'C1yqkIa` 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。
kS(v|d 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。
C6}`qD 5%XEybc2 Cv1CRmqq% KHt#mQy)9 堆栈的方向 fmk(} WLN;LT 堆栈的方向可以用两种方式指定: DUu~s,A ] Y6y ]u 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 7
[?]DyOf I-|1eR+3 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 e{IwFX C Z/:(sOJ q8fnUK?i ^Jn=a9Q6Z 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 EN2/3~syO- -D,kL 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 5B+I\f& 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 P}bw Ej 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 Gw}b8N6E ?O#,|\v?] o^&nkR E@^mlUf 高级选项和信息 I)cA:Ip 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 LDq(WPI1# 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 Fpf-Fa-K\b 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 bjGQ04da 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 GF awmNZ m^ [VM&% 3r,^is fIg~[VN" 结构分解 Z%O>|ozpq !mRDzr7 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 )1S"D~j- 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 q| 7$@H^* 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 &IgH]?t 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 Nc[V kJ] SI@Yct]<g b R;Wf5 CaqMLi% 光栅级次通道选择 qz/d6-0" b&Go'C{p 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 K+J fU
J 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 Wc-8j2M 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 Stxrgmu #R$[?fW W8{zV_TBm )MJy 光栅的角度响应 /A~+32B 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 h|t\rV^ 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 /N82h`\n 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 AT]Ty 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 iKN800^u BY^5z<^. >n^[-SWJCT $y&1.caMa 例:谐振波导光栅的角响应 ^L;k v"a.%"oN8 _ 0Ced&i oc3}L^aD 谐振波导光栅的角响应 3teanU` <FFaaGiE> 5.e.
BT
|