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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-03
    摘要 l-[5Zl;"  
    k,[[ CZ0j  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 HR?a93  
    NbhQ-  
    Yp9%u9tNq  
    7{ QjE  
    系统内光栅建模 ')E4N+h/  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 {=E,.%8  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 ]-u>HO g\  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 |\q@XCGei  
    LBhDP5qF  
    v;R+{K87  
    p{rzP,Pb&  
    附着光栅堆栈 DGx<Nys@B  
    ZL- ` 3x  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 s#)tiCSVW  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 ' C1yqkIa`  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 kS(v|d  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 C6}`qD  
    5%XEybc2  
    Cv1CRmqq%  
    KHt#mQy)9  
    堆栈的方向 fmk(}  
    WLN;LT  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: DUu~s,A  
    ]Y6y ]u  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 7 [?]DyOf  
    I-|1eR+3  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 e{IwFX  
    CZ/:(sOJ  
    q8f nUK?i  
    ^Jn=a9Q6Z  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 EN2/3~syO-  
    -D,kL  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 5B+I\f&  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 P}bwEj  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 Gw}b8N6E  
    ?O#,|\v?]  
    o^& nkR  
    E@^mlUf  
    高级选项和信息 I)cA:Ip  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 LDq(WPI1#  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 Fpf-Fa-K\b  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 bjGQ04da  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 GF awmNZ  
    m^ [VM&%  
    3r,^is  
    fIg~[VN"  
    结构分解 Z%O>|ozpq  
    !mRDzr7  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 )1S"D~j-  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 q|7$@H^*  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 &IgH]?t  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 Nc[V kJ]  
    SI@Yct]<g  
    bR;Wf5  
    CaqMLi%  
    光栅级次通道选择 qz/d6-0"  
    b&Go'C{p  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 K+J fU J  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 Wc- 8j2M  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 Stxrgmu  
    #R$[?fW  
    W8{zV_TBm  
    )MJy  
    光栅的角度响应 /A~+32 B  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 h|t\rV^  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 /N82h`\n  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 AT]Ty  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 iKN800^u  
    BY^5z<^.  
    >n^[-SWJCT  
    $y&1.caMa  
    例:谐振波导光栅的角响应 ^L;k  
    v"a.%" oN8  
    _ 0Ced&i  
    oc3}L^aD  
    谐振波导光栅的角响应 3teanU`  
    <FFaaGiE>  
    5.e. BT  
     
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