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摘要 11S{XbU 5 3+C;]J 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 3#fg
2 l [ m_<1L ;|= 5)KE Qt"jU+Zoy 系统内光栅建模 iMM9a;G+ 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 /5KY6XxR 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 FBi&MZ` 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 </9c=GoJ 9-#=xE9'U Yh,,(V6 =f=>buD 附着光栅堆栈 v*y,PY1* % T$!I (L& 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 Hm 0;[i 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 c8l\1ce?7 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 aB&a#^5CI 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 zcV~)go6 =?M{B1;H x'i~o' J"eE9FLM 堆栈的方向 UZJs!#P mg3YKHNG 堆栈的方向可以用两种方式指定: @ uL4'@Ej 0 4ceDe 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 ],<pZ1V; lA,[& 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 sEb*GF*.V /z1-4:^`A[ %B>>J% uq!d8{IMu 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 ~c,+)69"T V'N]u(^ 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 gE&83i" 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 =VSUE
Pq 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 `cmzmQC zM%2h:*+{ N@? z&urQi e&pt[W}X%u 高级选项和信息 78'3&,+si 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 xCU
pMB7 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 t%s(xz#1 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 `g'9)Xf4KT 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 D<4cpH p ^I#9(PT Q=498Y~x U)S!@2(4 结构分解 Ap(>mUs!i Eye.#~ 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 %vWh1- 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 ;`Wh^Qgi 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 >`
|sBx 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 KFHcHz |/RZGC4 csv;u' /n 1H;~f] 光栅级次通道选择 ,h9N,bIQg U'xmn$O 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 uWr vkLGN 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 O&PrO+& 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 &(X-b"2 y}>bJ: lDtl6r/ &Ht5!zuW, 光栅的角度响应 U NescZ 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 ^s3 SzB@ 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 fJOA5( 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 X=X 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 Z'\{hL S 5PT*b}g@ ujoJ6UOG v?#W/].C+ 例:谐振波导光栅的角响应 K2oyHw<mk ;fKFmY41 y[~w2a&+ mRD '@n 谐振波导光栅的角响应 l 1Ns~ #s]` jdc p>0n~e
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