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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 11S{XbU  
    5 3+C;]J  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 3#fg 2  
    l [ m_<1L  
    ;|=5)KE  
    Qt"jU+Zoy  
    系统内光栅建模 iMM9a;G+  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 /5 KY6XxR  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 FBi&M Z`  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 </9c=GoJ  
    9-# =xE9'U  
    Yh,,(V6  
    =f=>buD  
    附着光栅堆栈 v*y,PY1*  
    % T$!I(L&  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 Hm 0;[i  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 c8l\1ce?7  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 aB&a#^5CI  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 zcV~)go6  
    =?M{B1;H  
    x 'i~o'  
    J"eE9FLM  
    堆栈的方向 UZJs!#P  
    mg3YKHNG  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: @ uL4'@Ej  
    0 4ceDe  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 ],<pZ1V;  
    lA,[&  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 sEb*GF*.V  
    /z1-4:^`A[  
    %B>>J%  
    uq!d8{IMu  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 ~c,+)69"T  
    V'N]u (^  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 gE&83i"  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。  =VSUE Pq  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 `cmzmQC  
    zM%2h:*+{  
    N@? z&urQi  
    e&pt[W}X%u  
    高级选项和信息 78'3&,+si  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 xCU pMB7  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 t%s(xz#1  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 `g'9)Xf4KT  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 D<4cpH  
    p ^I#9(PT  
    Q=498Y~x  
    U)S!@ 2(4  
    结构分解 Ap(>mUs!i  
    Eye.#~  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 %vWh1-   
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 ;`Wh^Qgi  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 >` |sBx  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 KFHcHz  
    |/RZGC4  
    csv;u'  
    /n1H; ~f]  
    光栅级次通道选择 ,h9N,bIQg  
    U'xmn$ O  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 uWrvkLGN  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 O&PrO+&  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 &(X-b"2  
    y}> bJ:  
    lDtl6r/  
    &Ht5!zuW,  
    光栅的角度响应 UNescZ  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 ^s3SzB@  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 fJOA5(  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 X=X  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 Z'\{hL S  
    5PT*b}g@  
    ujoJ6UOG  
    v?#W/].C+  
    例:谐振波导光栅的角响应 K2oyHw<mk  
    ;fKFmY41  
    y[~w2a&+  
    mRD'@n  
    谐振波导光栅的角响应 l 1Ns~  
    #s]`jdc  
    p>0n~e  
     
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