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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 o>Q=V 0?  
     c&I"&oZ@&  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 @y(<4kLz  
     #T$yQ;eQ  
    v&Oc,W  
    Yqb3g(0   
    建模任务 y-lBaTE9  
    t>JPK_b0  
    ]B3f$;W  
    cc{^0JT  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) tWaM+W  
    ` *q>E  
    系统建模块 }N0v_Nas;v  
    T[ltOQw?Y  
    E@_]L<Z  
    f8S!FGiNc  
    特定位置的Talbot图案 [(m+Ejzi%  
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    +MyXIWmD  
    特定位置的Talbot图案 6D/K=-   
    ]4eIhj?  
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    不同位置的Talbot图案 $u%7]]Y^\  
    DE!c+s_g4  
     jW;g{5X  
    tO+Lf2Ni+  
    不同位置的Talbot图案 D8f4X w}=  
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     'J_`CS  
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    沿 Z 轴的强度 2`U+ !  
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    VirtualLab Fusion技术 .qS(-7<  
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