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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 v.]Q$q^  
     m'f,_ \'  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 #H0dZ.$b0  
     N"3b{Qi o  
    W]nSR RWco  
    t1%_DPD%W  
    建模任务 =Jym%m  
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    PpgP&;z4  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) VhNz8)  
    %%4t~XC#  
    系统建模块 Uy$)%dYfq5  
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    特定位置的Talbot图案 w.0qp)}  
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    #cCL.p"]  
    特定位置的Talbot图案 Q_Gi]M9  
    dX)GPC-D7  
    Et/&^&=\-  
    不同位置的Talbot图案 D &/L:  
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    不同位置的Talbot图案 <NuUW9+  
    oDU ;E  
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    iV eC=^1  
    沿 Z 轴的强度 (owrdPT!  
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     -Q U^c2  
    k+DR]icv  
    VirtualLab Fusion技术 I:d[Q s  
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