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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 (d5kD#.N  
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    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 oGZ%w4T  
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    建模任务 [RUYH5>Ik  
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    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Bt-2S,c,o  
    arj?U=zy  
    系统建模块 n|I5ylt  
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    ^b`aO$  
    特定位置的Talbot图案 U> 1voc  
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     %:] ive]e  
    ZC:7N{a  
    特定位置的Talbot图案 +(| ,Ke  
    uY|-: =  
    <@2g.+9  
    不同位置的Talbot图案 jG&gd<^  
    b$1W>  
     rXu^]CK *G  
    OuF%!~V   
    不同位置的Talbot图案 jAb R[QR1%  
    R<x~KJ11c  
     :HQQ8uQfb  
    ?T <2Cl'C  
    沿 Z 轴的强度 dBMr%6tz  
    Mu]1e5^]  
     <C,lHt  
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    VirtualLab Fusion技术 .a`(?pPr,  
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