切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学设计仿真实验指导 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 京东年货节，领红包！更优惠！
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 561阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6613
    光币
    27214
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 uzA_Zjx  
     8)1 k>=  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 f-O`Pp FQ  
     C]xKdPQj%  
    Pz/bne;=  
    }!W,/=z*  
    建模任务 rerl-T<3  
    _,U`Iq+X  
    BM@:=>ypQ  
    UZ`GS$D@  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) S"/M+m+ ]  
    S S/9fT"[  
    系统建模块 5c W2  
    T/A[C  
    vuOixAkw  
    FBR]) h'Z  
    特定位置的Talbot图案 8l, R|$RKP  
    "8'aZ.P  
     <ah!!  
    ~Lyy7 B9  
    特定位置的Talbot图案 z&3in  
    78iu<L+If  
    ^o*$OM7x  
    不同位置的Talbot图案 [xTu29X.  
    P{'T9U|O-  
     ~ PO)>;  
    U|Du9_0  
    不同位置的Talbot图案 Q1?0R<jOU  
    Y\Z.E ;  
     rfl-(_3  
    XJs*DK  
    沿 Z 轴的强度 OF4iGFw  
    ?D6?W6@  
     sO5~!W>Z  
    #`1@4,iC  
    VirtualLab Fusion技术 M[C9P.O%w  
    sNet[y:O3  
     fO;#;p.  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表