切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • ZEMAX光学系统设计实战 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 204阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    5302
    光币
    20742
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 06-27
    摘要 L~;(M6Jp  
     vOz1& |;D  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 _4)z:?G5  
     /RqWrpzx@  
    >w7KOVbN3  
    [PUu9rz#  
    建模任务 e Bxm  
    \5!7zPc  
    o<3$|`S&  
    ,G}i:7  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) g6lWc@]F  
    j:'g*IxM_  
    系统建模块 $57b.+2n  
    Y2 J-`o$5  
    B1!xr-kC  
    jMTM:~0N  
    特定位置的Talbot图案 /; Bmh=  
    J+E,UiZU  
     < ]1,L%  
    EmcLW74  
    特定位置的Talbot图案 300w\9fn&  
    <C(o0u&/  
    f4Y)GO<R]  
    不同位置的Talbot图案 HBOyiIm Q  
    a= j'G]=  
     D 6 y,Q  
    1VM2CgRa  
    不同位置的Talbot图案 {LF4_9 =  
    io+V4m  
     W +ER'lX  
    1 rhZlmf[r  
    沿 Z 轴的强度 y{hy7w'd  
    _,T 4DS6  
     A)C)5W  
    zX&SnT1~  
    VirtualLab Fusion技术 lh"*$.j-  
    ,n8\y9{G  
     X@DW1<wEt  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表