切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 290阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5623
    光币
    22267
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 bdV3v`  
     Y~oT)wTU  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 i#,1i VSG  
     j"<Y!Y3  
    =8{*@>CX  
    FsCwF&/q  
    建模任务 =sQ(iso%f  
    2/tb6' =  
    I{dl%z73  
    BV9*s  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) \Tq "mw9P  
    ~HP LV  
    系统建模块 Vdvx"s[`m  
    p[YWSjf  
    :$"7-a %f  
    k]I*:'178  
    特定位置的Talbot图案 KR3-Hb4  
    $P?{O3:V  
     fkW(Dt,  
    R!{7OkC  
    特定位置的Talbot图案 A9BxwQU#  
    I=YCQ VvA  
    .]Ybp2`"U  
    不同位置的Talbot图案 !cCg/  
    y'rN5J:l  
      b~!om  
    k.Zll,s  
    不同位置的Talbot图案 $T*KaX\{B  
    [&n|\!  
     vug-n 8  
    Q=.g1$LP  
    沿 Z 轴的强度 0^>E`/  
    Za\RM[Z!I  
     h Z#\t  
    ,cQ)cY[  
    VirtualLab Fusion技术 v,\93mNp[  
    szn%wZW  
     |!re8|JV_  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表