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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 n:c)R8X]  
     V#!ftu#c?  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 GT|=Kx$;  
     6 /T_+K.k  
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    V\nQHzjF<6  
    建模任务 _KSYt32N  
    S<Zb>9pl  
    k(>hboR5n  
    `@MY}/ o.  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) vas   
    4%#C _pE9  
    系统建模块 ^+CTv  
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    特定位置的Talbot图案 PqMU&H_  
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     o,a 3J:j]  
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    特定位置的Talbot图案 p"Ki$.Y  
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    不同位置的Talbot图案 {9wBb`.n^  
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    不同位置的Talbot图案 ]<D9Q>  
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    沿 Z 轴的强度 $N[-ks2 {@  
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    VirtualLab Fusion技术 |sWH!:]49  
    B6tp,Np5,  
     AtNu:U$  
     
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