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摘要 `+ Mva p+2%LYR u 在传统的 Talbot 光刻中,在光敏层中仅使用一个图像。 但是,可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中,按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM,也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像,在主像平面中会再现柱状图案,而在次要像平面中再现孔图案。 =k!F`H`/%' 5RSP.Vyx{ KWw?W1H FT gt$I 建模任务 ^h<ElK 7B)@ aUj$ 4J[csU Tkh?F5l structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) #D+.z)iZn FlH=Pqc 系统建模块 AX{yfL /hGu42YG )d=&X|S> SR/
"{\C 特定位置的Talbot图案 mO0#xY_z ~~,#<g[ -K5u5l} .m%ygoO 特定位置的Talbot图案 j6rwlwN \AD|;tA\vE R"71)ob4 不同位置的Talbot图案 Op iVQr: !8J%%Ux&M Y;sN UX 6"bdbV=t 不同位置的Talbot图案 bxww1NG>|Z ).r04)/ oJ0
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