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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 b:(+d"S  
     -^NW:L$|  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 |q4=*Xq  
     7FwtBO  
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    EW$drY@  
    建模任务 A!Tl  
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    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 091m$~r*  
    w5Fk#zJv  
    系统建模块 m{>1# 1;$t  
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    特定位置的Talbot图案 \d:Q%S  
    xxGm T.&  
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    05F/&+V  
    特定位置的Talbot图案 $mxG-'x%K  
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    不同位置的Talbot图案 KXMf2)pa  
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    vU *: M8k  
    不同位置的Talbot图案 EG4~[5[YgI  
    #~Xj=M%  
     D*UxPm"pw  
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    沿 Z 轴的强度 pg5W`4-F  
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    h]@'M1D%  
    VirtualLab Fusion技术 Z6B$\Q5Od  
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