切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 629阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6854
    光币
    28420
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 5Uha,Q9SA  
     7xy[;  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 <vUhJgN2/  
     KO5! (vi@  
    sAfNu~d  
    uQ'Izdm  
    建模任务 YVS~|4hu?i  
    ftwn<B  
    wj#A#[e  
    LP- _i}Kq  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) E|l qlS7  
    tunjV1 ,]  
    系统建模块 4<Q^/-W  
    lzup! `g  
    g|rbkK%SoE  
    Emx`+9  
    特定位置的Talbot图案  pu?D^h9/  
    TIre,s)_  
     \zGmZZ  
    i"J`$u  
    特定位置的Talbot图案 1a>TJdoa  
    XpU%09K  
    8|Vm6*TY&p  
    不同位置的Talbot图案 ~Ddlr9Ej  
    #Z>EX?VS:  
     o/5loV3h  
    Nr#" 5<W  
    不同位置的Talbot图案 KR sY `[Y  
    P{gy/'PH,  
     IFfB3{J  
    iX\]-_D  
    沿 Z 轴的强度 :#&Y  
    $Y9Wzv3Ra  
     vm Y*K  
    0\2#(^  
    VirtualLab Fusion技术 -K*&I!  
    1DT}_0{0Q  
     =!{ E!3>*D  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表