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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 ^VEaOKMr  
     ^kke  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 I|wC`VgB  
     MDBqIL]Hc  
    5,+fM6^V  
    s4j]kH  
    建模任务 t'Zv)Wu1E  
    3WpQzuHPT  
    Y;@]G=a   
    P`avn  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Y`3\Z6KlV  
     % s@  
    系统建模块 MnlD87x@X  
    fmD~f  
    i-?mghe8  
    1'P4{T0 [  
    特定位置的Talbot图案 E;, __  
    $y{.fjy3  
     2O- 4x  
    _5S||TuNS  
    特定位置的Talbot图案 ?dXAHY  
    YP[8d,  
    {y B0JL}n  
    不同位置的Talbot图案 zN9#qlfv  
    $)~:H-  
     eJ6 #x$I,  
    xUNq!({T  
    不同位置的Talbot图案 {|@}xrB  
    N 'n0I^Y1A  
     ;GKL[ tI"  
    1M b[S{  
    沿 Z 轴的强度 RI+Y+z  
    8llXpe  
     \4>w17qng  
    xm5?C>vu(  
    VirtualLab Fusion技术 {jv+ J L"5  
    4|\  
     JTObyAoW  
     
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