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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 06-27
    摘要 @;[.#hK  
     :4pO/I ~  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 o+\?E.%%g  
     -CPLgT  
    ]agdVr^  
    5yp  
    建模任务 y;hco  
    ePxf.U  
    $:?=A5ttuo  
    zeH=py[n  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) .o8pC  
    2 xi@5;!  
    系统建模块 eqpnh^0}d  
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    特定位置的Talbot图案 Fd._D"  
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    特定位置的Talbot图案 XsMETl"Av4  
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    不同位置的Talbot图案 m h|HEkM  
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    k59.O~0V  
    不同位置的Talbot图案 92*Y( >  
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     .r@'9W^8  
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    沿 Z 轴的强度 `]<~lf  
    5}_,rF?cX  
     D&8*4>  
    y(Q.uYz*  
    VirtualLab Fusion技术 yn{U/+  
    M]e _@:!  
     ;] #Q!  
     
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