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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 rOUQg_y  
     1z,P"?Q  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 &C9)%5 O)  
     F2(^O Fh  
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    (Cti,g~  
    建模任务 )`|`PB  
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    NN:zQ_RT  
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    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ]w-W  
    \Yv4 4*I`  
    系统建模块 X`E}2|q'  
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    特定位置的Talbot图案 "Rf|o 6!d  
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    特定位置的Talbot图案 ^h`rA"F\  
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    不同位置的Talbot图案 aiw4J  
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    沿 Z 轴的强度 C}o^p"M*B3  
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    VirtualLab Fusion技术 $qoal   
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