在
衍射光学中,当周期性
结构被准直光照射时,可以观察到在物体后面周期性距离处形成的周期性结构的图像。这就是众所周知的 Talbot 效应(用所谓的 Talbot 距离来描述周期性间隔),它已经在例如光刻中得到了常规应用。
OxUc,%e9P Pk=0pHH8q 利用快速
物理光学建模和设计软件
VirtualLab Fusion的场跟踪技术,可以充分研究这种效应及其应用。请看下面的例子,在这些例子中,我们用线性和交叉图案演示Talbot效应的基本
原理,并更仔细地研究特定的光刻应用,以产生
纳米结构。
I]BhkJ 圆锥相位掩模版的泰伯成像 p!DOc8a.\e
zx@L sp eKf5orN 在VirtualLab Fusion中对带有一层圆锥体的相位掩模板进行了严格的建模。检测到不同的Talbot图像,其中柱图案在主图像平面中再现,而孔图案在次图像平面中再现。
I@TH^8( 泰伯效应的建模 }$LnjwM;,
)a9C3-8Y' taMcm}*T1 我们演示了Talbot效应的建模,Talbot效应是一种众所周知的来自周期结构(如
光栅)的近场衍射效应。