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    [求助]镀膜后环测双85实验,外观有水渍点无法去除,什么原因? [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-24
    镀膜设备,光驰OTFC,工艺条件:Ta2O5+SIO2,   温度:320℃,射频源 L;I]OC^J  
    ~/P[J  
    | %Vh`HT  
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2024-07-15
    两个可能。1,离子源的中和电流不够,导致膜内有电荷积聚,调大中和电流试试。 Jze:[MYS  
    2,片子洗净的问题,镀前用离子源多轰一下,看看有没有改善。 )P|),S,;Z  
    oM`0y@QCf  
    另外中和器偶尔的打火也有可能造成电荷积聚,但这个不会每炉都会实现。 0KOgw*>_  
    离线renlgj
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    只看该作者 2楼 发表于: 2024-07-18
    学习中,谢谢楼上各位