这是一个简单的二维
光栅的案例,它有两个周期的方形晶格。三维单元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一个位于衬底上的菱形(平行六面体),并被背景
材料包围。示例中的材料选择为铬(菱形
结构)、
玻璃(基底)和空气(背景材料)。
D9CaFu a LroD$# 光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当
波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度
S偏振光照明的场矢量
.9 on@S P偏振光照明的场矢量 q77;ZPfs8
F3v!AvA| 后处理傅里叶变换计算透射
衍射级次的振幅。
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Yll4E 参数扫描
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