这是一个简单的二维
光栅的案例，它有两个周期的方形晶格。三维单元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一个位于衬底上的菱形(平行六面体)，并被背景
材料包围。示例中的材料选择为铬(菱形
结构)、
玻璃(基底)和空气(背景材料)。
[<nmJ-V ;t xW\iy%Z 光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当
波长为193nm时，平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度
S偏振光照明的场矢量
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P偏振光照明的场矢量 C#l9MxZE
NScUlR"nE 后处理傅里叶变换计算透射
衍射级次的振幅。
_xz>O [unf ^D]y<@01 参数扫描
kJ_XG;8 >gT QD\k:D Matlab®脚本data_analysis/run_scan_illumination.m提供对入射角的扫描。它产生了以下图表，显示了反射和透射衍射级次的强度：
BD_"w]bqD (~Hwq:= . 在脚本data_analysis/run_scan_width.m中,在一个固定的照明角度下，其中图案宽度从150nm增至250nm。这将产生以下依赖关系
XS_Ib\-50 } Q1m
