HL}sqcp N4Fy8qU; 内容简介 #buV;!_!E? Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
]iE.fQ?;J 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
/z.7:<gZ( 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
:!Y?j{sGU 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
JYVxdvq1 %Mb(
c+7 目录 F'Y2f6B Preface 1
eD`
, 内容简介 2
f3%^-Uy*b 目录 i
u]>>B>KOJ7 1 引言 1
CLFxq@%nu~ 2 光学薄膜基础 2
fa*H cz 2.1 一般规则 2
08d_DCR 2.2 正交入射规则 3
6iV"Tl{z- 2.3 斜入射规则 6
iz%A0Z+`bg 2.4 精确计算 7
35N/v G0 2.5 相干性 8
zw%n!wc_\ 2.6 参考文献 10
4,*^QK 3 Essential Macleod的快速预览 10
7gdU9c/q, 4 Essential Macleod的特点 32
skC|io-Zv 4.1 容量和局限性 33
>b!X&JU 4.2 程序在哪里? 33
LGo@F;!n 4.3 数据文件 35
GJ^]ER-K 4.4 设计规则 35
33,JUQ2u 4.5 材料数据库和
资料库 37
!7"K>m< 4.5.1材料损失 38
l_j<aCY?| 4.5.1材料数据库和导入材料 39
*3etxnQc 4.5.2 材料库 41
R6WgA@Z|r 4.5.3导出材料数据 43
>kDdWgRQ 4.6 常用单位 43
[K4+G]6 4.7 插值和外推法 46
UmD-7Fd 4.8 材料数据的平滑 50
X\$W'^ np 4.9 更多光学常数模型 54
&8_#hne_ 4.10 文档的一般编辑规则 55
kvgs $ 4.11 撤销和重做 56
V^$rH< 4.12 设计文档 57
>$S,>d_k` 4.10.1 公式 58
1N$gE 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
U)I `:J+A 4.10.3 沉积密度 59
N;`[R>Z~ 4.10.4 平行和楔形介质 60
g0:4zeL 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
!qw=I( 4.10.4 性能 61
?m_R U 4.10.5 保存设计和性能 64
\#+2;L 4.10.6 默认设计 64
:2UC{_ 4.11 图表 64
(P>eWw\0 4.11.1 合并曲线图 67
FskJyB[ 4.11.2 自适应绘制 68
1-NX>E5 4.11.3 动态绘图 68
yL3<X w| 4.11.4 3D绘图 69
`F+x]<m! 4.12 导入和导出 73
iZq@W3GL
C 4.12.1 剪贴板 73
kW2nrkF 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
W6xjqNU 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
EAd:`X,Y 4.13 背景 77
X,Q=n2X?3 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
4wj| 4.15 生成Rugate 84
hte9l) 4.16 参考文献 91
5 *pN<S 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
aEqI51I 5.1 Jobs 92
~h^}W$pO 5.2 创建一个新Job(工作) 93
AIxBZt7{b 5.3 输入材料 94
t-4R7`A< 5.4 设计数据文件夹 95
`)C`_g3Ew 5.5 默认设计 95
$H:h(ia: 6 细化和合成 97
v.LUK 6.1 优化介绍 97
F/od,w9_ 6.2 细化 (Refinement) 98
z vylL
M 6.3 合成 (Synthesis) 100
g\{! 21M 6.4 目标和评价函数 101
b`W'M:$ 6.4.1 目标输入 102
'iISbOM 6.4.2 目标 103
CygV_q 6.4.3 特殊的评价函数 104
>'TD?@sr 6.5 层锁定和连接 104
.SV3<) 6.6 细化技术 104
HFx"fT 6.6.1 单纯形 105
AB&wn>q 6.6.1.1 单纯形
参数 106
!4,xQ^
6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
o`8+#+@f7 6.6.2.1 Optimac参数 108
:0j`yo:w 6.6.3 模拟退火算法 109
AUjTcu>i 6.6.3.1
模拟退火参数 109
=U7D}n
hS- 6.6.4 共轭梯度 111
:9
iOuu 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
~W *j^+T" 6.6.5 拟牛顿法 112
Cz);mOb%M% 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
y3[)zv 6.6.6 针合成 113
;$L!`"jn 6.6.6.1 针合成参数 114
pL/.JzB 6.6.7 差分进化 114
zcWxyLifl0 6.6.8非局部细化 115
!@Vp Bl 6.6.8.1非局部细化参数 115
6N+)LF}P b 6.7 我应该使用哪种技术? 116
P5xmLefng 6.7.1 细化 116
|wb(rua 6.7.2 合成 117
@gjdyz 6.8 参考文献 117
8Gg/M%wq9U 7 导纳图及其他工具 118
t{s*3k/ 7.1 简介 118
d~Ry> 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
^?]H$e 7.2.1 四分之一
波长规则 119
n9/0W%X> 7.2.2 导纳图 120
{5IG3' 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
J9=0?^v-:B 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
j4SGA#;v 7.5 斜入射导纳图 141
zomNjy* 7.6 对称周期 141
X|1YGZJ 7.7 参考文献 142
LqsJHG 8 典型的镀膜实例 143
~d `4W<1a 8.1 单层抗反射薄膜 145
"3 oU
(RA 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
/cen#pb 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
C$ `Y[w 8.4 W-膜层 148
:Sn3|`HDm 8.5 V-膜层 149
{bW3%iU 8.6 V-膜层高折射基底 150
<a[8;YQC 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
6SO7iFS 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
Jv.R?1;8i 8.9 四层抗反射薄膜 153
;L%~c4`l~m 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
F-,{+B66 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
G5f57F 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
sLqvDH?V 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
s'Q^1oQM2h 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
"I FGW4FnL 8.15十五层宽带抗反射膜 159
xi. KD 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
K/+C6Y? 8.17 1/4波长堆栈 162
hBE>e a 8.18 陷波滤波器 163
5@%-=87S 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
ly%B!P| 8.20 褶皱 165
U?j> 28 8.21 消偏振分光器1 169
Py]ci`27 8.22 消偏振分光器2 171
A;x^6> 8.23 消偏振立体分光器 172
nnl9I4-O 8.24 消偏振截止滤光片 173
-%)
!XB
8.25 立体偏振分束器1 174
N`6|Y 8.26 立方偏振分束器2 177
!*UdY( 8.27 相位延迟器 178
HWOH8q{f! 8.28 红外截止器 179
FNEmGz/4 8.29 21层长波带通滤波器 180
J}\]<aC 8.30 49层长波带通滤波器 181
:Ia&,;Gc 8.31 55层短波带通滤波器 182
vnC&1 8.32 47 红外截止器 183
t3g!5 8.33 宽带通滤波器 184
p=gUcO8 8.34 诱导透射滤波器 186
4yv31QG$ 8.35 诱导透射滤波器2 188
oa !P]r 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
,x.)L=Cx8 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
mJR
T+SZ 8.35 增益平坦滤波器 193
>D62l*V C) 8.38 啁啾反射镜 1 196
]sAD5<; 8.39 啁啾反射镜2 198
R_n-&d'PP 8.40 啁啾反射镜3 199
tgA
|Vwwk 8.41 带保护层的铝膜层 200
3~xOO*`o 8.42 增加铝反射率膜 201
17MjIX 8.43 参考文献 202
S`w)b'B!M 9 多层膜 204
~GYtU9s5 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
Lta\AN!c 9.2 内部透过率 204
toJ&$HrE 9.3 内部透射率数据 205
KZfRiCZ 9.4 实例 206
5K~6` 9.5 实例2 210
:K:gyVrC 9.6 圆锥和带宽计算 212
}h6z&:qA[? 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
uI&M|u:nT 10 光学薄膜的颜色 216
~U+'3.Wo 10.1 导言 216
lXKZNCL 10.2 色彩 216
_/ZY&5N 10.3 主波长和纯度 220
mDfWR 10.4 色相和纯度 221
??V["o T 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
1Di&vpn0u 10.6 色差 226
j~q`xv+R 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
Tj9q(Vq 10.8 颜色渲染指数 234
e|yuPd 10.9 色差计算 235
Dx'e+Bm 10.10 参考文献 236
X&Lt?e,& 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
&[5az/Hj* 11.1 短脉冲 238
a"aV&t 11.2 群速度 239
w,9F riW 11.3 群速度色散 241
c
@fc7 11.4 啁啾(chirped) 245
Q2?qvNZ 11.5 光学薄膜—相变 245
3/FB>w gt 11.6 群延迟和延迟色散 246
;D:T
^4 11.7 色度色散 246
_s8_i6 Y 11.8 色散补偿 249
?~IZ{! 11.9 空间
光线偏移 256
PM7/fv*, 11.10 参考文献 258
fif<[Ax 12 公差与误差 260
Shz;)0To 12.1 蒙特卡罗模型 260
sKO
;p 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
a~>h'}C> 12.2.1 误差工具 267
Q>$L;1E*, 12.2.2 灵敏度工具 271
.SN]hLV5 12.2.2.1 独立灵敏度 271
aa/9o] 12.2.2.2 灵敏度分布 275
9<S-b |!@ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
<bI,y_<K 12.3 参考文献 276
7<D_ h/WV 13 Runsheet 与Simulator 277
qE{S'XyM, 13.1 原理介绍 277
;zDc0qpw 13.2 截止滤光片设计 277
U w" 14 光学常数提取 289
7i.aZ2a% 14.1 介绍 289
( Iew%U 14.2 电介质薄膜 289
)3sb2
# 14.3 n 和k 的提取工具 295
Kq$1lPI 14.4 基底的参数提取 302
6! 'Xo:p 14.5 金属的参数提取 306
NY
x4&
*le 14.6 不正确的模型 306
=Frr#t!(w0 14.7 参考文献 311
@HI5;z 15 反演工程 313
S}X:LHr* 15.1 随机性和
系统性 313
2|BE{91 15.2 常见的系统性问题 314
sa* -B 15.3 单层膜 314
tO7{g 15.4 多层膜 314
rej[G! 15.5 含义 319
uE(w$2Wi 15.6 反演工程实例 319
'! (`? 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
1~Nz6 15.6.2 反演工程提取折射率 327
"Q1hP9xV 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
Kl? 1)u3^4 16.1 光学性质的热致偏移 329
tPsU7bFk 16.2 应力工具 335
}g?]B +0 16.3 均匀性误差 339
pjFgIG2=9 16.3.1 圆锥工具 339
JK4 @ 16.3.2 波前问题 341
4hIC&W~f 16.4 参考文献 343
#x21e }Li 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
GCHssw~P'v 17.1 引言 345
K4BMa]/U 17.2 操作数 345
-|mABHjx* 18 如何在Function中编写脚本 351
x%1Rp[ 18.1 简介 351
]7;;uhn` 18.2 什么是脚本? 351
I /g]9
y 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
Lst5 18.4 基础 352
\Z8!iruN 18.4.1 Classes(类别) 352
i^#RiCeo 18.4.2 对象 352
&!ZpBR( 18.4.3 信息(Messages) 352
+dfSCs 18.4.4 属性 352
8CCA/6 18.4.5 方法 353
+Ji dP 18.4.6 变量声明 353
bGZy0. 18.5 创建对象 354
# V+e 18.5.1 创建对象函数 355
2;/hFwm 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
<d4^gAfs* 18.5.3 丢弃对象 356
eIJQ|p<v 18.5.4 总结 356
o%:eYl 18.6 脚本中的表格 357
x)*[>d2yd 18.6.1 方法1 357
v!2`hqO 18.6.2 方法2 357
Oaui@q
18.7 2D Plots in Scripts 358
mYCGGwD 18.8 3D Plots in Scripts 359
$\H>dm 18.9 注释 360
_>s.V`N' 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
D+OkD-8q 18.11 一个更高级的脚本 362
ZYG"nmNd 18.12 <esc>键 364
_wIAr 18.13 包含文件 365
ec|IT0; 18.14 脚本被
优化调用 366
[*fnTy 18.15 脚本中的对话框 368
\2Yh I0skW 18.15.1 介绍 368
=$MV3] 18.15.2 消息框-MsgBox 368
piU4%EO 18.15.3 输入框函数 370
,Fb#%r% 18.15.4 自定义对话框 371
a.P^+h 18.15.5 对话框编辑器 371
>a,w8 ^7 18.15.6 控制对话框 377
AWw:N6\ 18.15.7 更高级的对话框 380
.$Y[>9 18.16 Types语句 384
~/t#J 18.17 打开文件 385
bz1\EkLL 18.18 Bags 387
K|iNEhuc 18.13 进一步研究 388
<R2bz1!h. 19 vStack 389
^pn:SV 19.1 vStack基本原理 389
t;'__">:q 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
*fE5Z;!} 19.3 五棱镜 393
N3,EF1% 19.4 光束距离 396
/SyiJCx0 19.5 误差 399
Xr@0RFdr[ 19.6 二向分色棱镜 399
kHJjdgV 19.7 偏振泄漏 404
Q,scjt[ 19.8 波前误差—相位 405
kY|<1Ht 19.9 其它计算参数 405
#N*~Q 20 报表生成器 406
'SC`->F4D 20.1 入门 406
N7|ctO 20.2 指令(Instructions) 406
t ,0~5>5 20.3 页面布局指令 406
qu?D`29 20.4 常见的参数图和三维图 407
!+i 20.5 表格中的常见参数 408
f+rBIE 20.6 迭代指令 408
"F=O 20.7 报表模版 408
Q.x3_+CX 20.8 开始设计一个报表模版 409
'INdZ8j_ 21 一个新的project 413
HR4^+x 21.1 创建一个新Job 414
=T[kGg8` 21.2 默认设计 415
+?%huJYK, 21.3 薄膜设计 416
/MA4Er r 21.4 误差的灵敏度计算 420
nfc&.(6x< 21.5 显色指数计算 422
X"yLo8y8$ 21.6 电场分布 424
<MoWS9s!yb 后记 426
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