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摘要 fMeZ]rb HhkN^S, 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 4S
L_-Hm. WjM>kWv QMk+RM8U Y'Z+, CNf 设计任务 =!ac7i\F {$^SP7qV#> .h;Se ,vG<*|pn 5]7&IDA]]9 光栅特性与参数的严格分析 )Hf~d=GG vN{-?
不同光栅周期的衍射效率 ?Ay3u^X 1.R
kIB OCHm; PMKb ]y 考虑光栅周期的选择
'H FK Bp &-GuKH(Y< FBsn;,3<W 偏振相关衍射特性 Zj-BuE&@f [U_[</L7
cD{8|B* 1.SkIu% 偏振相关衍射特性 Qa$NBNxKl C=VIT*=
CW:gEm+ 4^Ow^7N? 偏振相关衍射特性 {TL +7kiX/ '@:[axu j;2<-{ bV3lE6z 基于参数优化的光栅设计 +$(0w35V5 3$"/>g/ 具有固定周期的二维参数优化
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Q#WE|,a 二维参数优化 - 设计#1 7Qh_8M r] t )x*
U1Yo7nVf >QI~`MiI 二维参数优化 - 设计#2 m1e b8yX f[qPG&
G\1J _al 9Q@*0- 制造公差分析 - 设计#2 nC~fvyd<P 8^w/HCC8O
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Lt\ 不同光栅周期的三维参数优化 C|6{fd4? pGGV\zD^
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