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摘要 xJphG YP^=b} 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 1 ZL91'U 'jw?XtG  y9K U& L2 k<.$7Pl3U 设计任务 9O8na
'w Zj+S "`P  n~1F[ * Q]JWWKt6rV :]Nn(}, 光栅特性与参数的严格分析 `D44I;e^1; <G};`}$a 不同光栅周期的衍射效率 f9" M^i wzXIEWJ  P3 Wnso ^tMb"WO 考虑光栅周期的选择 N('=qp9 o1kTB&E4B  .3X5~OH 偏振相关衍射特性 I7@|{L1|FB S!Alno
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