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摘要 1SP)`Q =ILs[p 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
.rD@Q{e50 #!OCEiT_ 0V"r$7(} IBcCbNs! 设计任务 f`.8.1Rd &kHp}\ '49&qO5B IwKhun PSI5$Vna4p 光栅特性与参数的严格分析 y!6B Gz kTAb
< 不同光栅周期的衍射效率 _:Tjq) wP/&k`HQ#i 2 #kR1rJP sk\U[#ohH 考虑光栅周期的选择 Ha1E /b]K
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偏振相关衍射特性 8s/gjEwA ^rfY9qMJr8 [pUw(KV2m h
+.8Rl 偏振相关衍射特性 )y\^5>p[ gYA|JFi AMG}'P: OKNA36cU' 基于参数优化的光栅设计 dQYb)4ir Q g"hN 具有固定周期的二维参数优化 .mn`/4 ]@Y8 !
, K~H)XJFF 二维参数优化 - 设计#1 &M,a+|yuY G+stt(k: l_hM,]T0 T1m"1Q 二维参数优化 - 设计#2 K]Q#B|_T "X T7;! nBI?~hkP3 rmu5K$pl 制造公差分析 - 设计#2 NZ djS9 J 05@SG': <`i"5`J Ve*NM|jg 不同光栅周期的三维参数优化 'A;G[(SYy "~(qp_AI btHN 7Ab&C&3 制造公差分析 DZ92;m C8rD54A'M L^i=RGx -G e5gQ= 走进VirtualLab Fusion U`N|pPe:w <`k\kZM '9c`[^ NUbw]Y90~ VirtualLab Fusion 工作流程 /ts=DxCC; p4Cw#)BaS 59!yz'feF 8^\}\@ VirtualLab Fusion技术 ) DXN|<A Z"#eN(v.N R*a5bKr
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