摘要
^;M!u8 [ k#U?Xs> 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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rB-&'#3% xGN&RjPk\ 建模任务
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/K1YDq<= ZPHB$]ri 1阶的
参数优化
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+h y<MXd,eE 结果-容差分析
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S U04q+ ?!KqDI 在
VirtualLab Fusion中查看
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R!5j1hMN` *bsS%qD] VirtualLab Fusion的工作流程
NvY%sx, qq
G24**9v •构造光栅结构
p{gJVP#l'Z - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
<7-3j{065 - 倾斜光栅的高级配置[用例]
4@-
'p •分析光栅衍射效率
Qt`}$] - 光栅级次分析器[用例]
&c%;Lo •使用参数优化优化光栅参数
v,^2'C$o •使用参数运行进行容差分析
[7oU = - 参数运行文档的用法[用例]
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+/E`u|%|\] 0CX2dk"UB^ VirtualLab Fusion技术
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