摘要
:HM~!7e B)*1[Jf{4 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
63(XCO i#NtiZ.t= 5yyc0UG AJ>$`= 建模任务
O5MV&Zb( )<%CI#s# ef7 BG( Q4Nut 1阶的
参数优化
#@' B\!<@= o5['5?i} / GkxQEL NoMlTh(O 结果-容差分析
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7p #
0d7 结果-容差分析
HzL~B# Es- =0gpK ;?q-]J? n<P&|RTZ 在
VirtualLab Fusion中查看
Rh!m1Q(- *0vRVlYf @EURp .F'Cb)Z VirtualLab Fusion的工作流程
s?"\+b 'pyIMB?x •构造光栅结构
t%%zuq F` - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
<`WDNi$Y - 倾斜光栅的高级配置[用例]
x:i,l:x •分析光栅衍射效率
aeVd.`lxM - 光栅级次分析器[用例]
}~Do0XUH •使用参数优化优化光栅参数
k&M~yb •使用参数运行进行容差分析
uJ=d!Kn - 参数运行文档的用法[用例]
/eT9W[a z0x^HDAeC (0l>P]"n OLWn0 VirtualLab Fusion技术
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