摘要
U,d2DAvt b<\G I7 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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参数优化
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VirtualLab Fusion中查看
"wF*O"WQo *:(1K%g { .cB>L EJv! tyJ\[ VirtualLab Fusion的工作流程
d{?)q U:J /\- •构造光栅结构
]m RF[b$ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
]y$)%J^T - 倾斜光栅的高级配置[用例]
F61+n!%8 •分析光栅衍射效率
YdPlN];[ - 光栅级次分析器[用例]
i4 P$wlO •使用参数优化优化光栅参数
_AVy:~/ •使用参数运行进行容差分析
Yo>%s4_, - 参数运行文档的用法[用例]
oUCS| IM$'J z/pDOP Ku w"yK\OE VirtualLab Fusion技术
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