摘要
iH""dtO a4iq_F#NF 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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+HOHu*D v&i,}p^M5 建模任务
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参数优化
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C%y!)v_x T=n)ea A 结果-容差分析
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;v9 在
VirtualLab Fusion中查看
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Hkck=@>8H* n!K<g.tjW VirtualLab Fusion的工作流程
S=bdue $rG~0 •构造光栅结构
oTqv$IzqP - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
?g21U97Q - 倾斜光栅的高级配置[用例]
< (U :v •分析光栅衍射效率
;=[ ~2*8 - 光栅级次分析器[用例]
wUbs9y< •使用参数优化优化光栅参数
M)1? $'Aq •使用参数运行进行容差分析
$WV N4fg - 参数运行文档的用法[用例]
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aA 5rvP + Fl'+ C VirtualLab Fusion技术
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