摘要
/d+v4GIB 7H*,HZc@= 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
a@Vk(3Rx_ Wks zNh
'qUM38 s ^OV!Q\j.q 建模任务
%K+hG=3O 9@ 4]t6h[
LGw-cX # V?Q45t Ae 1阶的
参数优化
.820~b0 <"K2t
Tg.
=jKu=!QPq dDSb1TM 结果-容差分析
Yecdw'BW? ]#[4eaCg
kL8E# C?k\5AzT 结果-容差分析
W[k rq_c- E7i/gY
,cxe"U 0i"2s}^+_ 在
VirtualLab Fusion中查看
Ie
K+ A9g/At_
CzY18-L@EX TV0sxod6 VirtualLab Fusion的工作流程
t^Lb}A#$4 q sUBvq •构造光栅结构
#6
ni~d&0 - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
O8A(OfX - 倾斜光栅的高级配置[用例]
KgbBa2@+ •分析光栅衍射效率
QgKR=GR6 - 光栅级次分析器[用例]
=>lX brJ •使用参数优化优化光栅参数
1JUj e •使用参数运行进行容差分析
Nmd{C(^o - 参数运行文档的用法[用例]
bI3GI:hp j'Jb+@W?
YD@Z}NE
v" WVsj VirtualLab Fusion技术
~NPhVlT e v0>j4Q
IA&V?{OE@I