摘要
t``q_!s}F K\^S>dV 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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bm-&H l[b`4 建模任务
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)&.Zxo;q= ->a| 1阶的
参数优化
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*w23(f d&t,^Hj 结果-容差分析
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~qezr\$2 .CBb%onx 结果-容差分析
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gE~LPwM kuW^_BROJ 在
VirtualLab Fusion中查看
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`clp#l.ii VirtualLab Fusion的工作流程
DN;3VT.- -$cO0RSY •构造光栅结构
hf< [$B - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
Oc%W_Gb7 - 倾斜光栅的高级配置[用例]
oR'u&\mB •分析光栅衍射效率
#,Cz+k*4 - 光栅级次分析器[用例]
/J[s5{ •使用参数优化优化光栅参数
lHc9D •使用参数运行进行容差分析
"*ww>0[ - 参数运行文档的用法[用例]
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\U.js- o4nDjFhh VirtualLab Fusion技术
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