摘要
C\ ~!2cy DEdJH4 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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: h"Bf@3 建模任务
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9 n(.v} 0j =xWC 1阶的
参数优化
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=/ b2e\ X?2ub/Nr#Y 结果-容差分析
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^SrJ 结果-容差分析
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anM]khs? td}%reH 在
VirtualLab Fusion中查看
S:.Vt&+NJ ,Pq@{i# 
!>n^ ;u dX720/R VirtualLab Fusion的工作流程
" @P) xI'sprNa_1 •构造光栅结构
|%V-|\GJ~j - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
n86=1G:% - 倾斜光栅的高级配置[用例]
_4Ciai2Ql •分析光栅衍射效率
W8@o7svrh - 光栅级次分析器[用例]
##_`)/t, •使用参数优化优化光栅参数
JB}jt)ol% •使用参数运行进行容差分析
[]\=(Uc; - 参数运行文档的用法[用例]
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5 3g(:eB 2^V/>| W>w VirtualLab Fusion技术
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