摘要
=:=uV0jX\ *XlnEHv 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
D7x"P-ie Q|o~\h< nz]+G2h 3+jqf@ fO 建模任务
S(*SUH J4ltHk.| /e}NZo{)g o;@T6-VH 1阶的
参数优化
@(A[H^E f?A*g$v h{cJ S9e} ;HeUD5Nt6F 结果-容差分析
Hi<5jl paW7.~3
R e'z[JG= _6 |lw&o07 结果-容差分析
(-(sBQ a+ g k[8' C_=WL( 9q-9UC!g 在
VirtualLab Fusion中查看
q G%'Lt x;Jy-hMNl J_A5,K*r| i7w>Nvj] VirtualLab Fusion的工作流程
bgjo_!J+Pp z\8Kz ]n~ •构造光栅结构
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m - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
k/yoRv% - 倾斜光栅的高级配置[用例]
gG^K\+S •分析光栅衍射效率
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!~ - 光栅级次分析器[用例]
<OcD [5 •使用参数优化优化光栅参数
T0ebW
w •使用参数运行进行容差分析
E8~Bp-G) - 参数运行文档的用法[用例]
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$S Bp`?inKBOd VirtualLab Fusion技术
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