摘要
93,7yZ 5# iM V=R2t 2 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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>4+KEK o?IrDQ2gmh 1阶的
参数优化
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5e?<x>e _S-@|9\&# 结果-容差分析
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.2ZFJ.Z" $Fy >N>,E( 在
VirtualLab Fusion中查看
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4_$. gO +Ni Ct S VirtualLab Fusion的工作流程
0f'LXn ip1gCH/?_+ •构造光栅结构
hp2$[p6O - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
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-| - 倾斜光栅的高级配置[用例]
3od16{YH •分析光栅衍射效率
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9 - 光栅级次分析器[用例]
1Lp; LY"_ •使用参数优化优化光栅参数
f=S2O_E e •使用参数运行进行容差分析
H4sc7- - 参数运行文档的用法[用例]
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ojA !!Ru 7;&,L H VirtualLab Fusion技术
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