摘要
27A!\pn M 2q"dz 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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.n4TmF ;\{`Ci\ PaWr[ye 建模任务
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F W|5_$p 1阶的
参数优化
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pA}S5x *d*,Hqn (u1m]WYL z rfUQO 结果-容差分析
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ZY BS1Ap kg97S 在
VirtualLab Fusion中查看
j\&pej I]`-|Q E .qv'6G r@G#[.*A> VirtualLab Fusion的工作流程
gl%`qf6:O 8|^CK|m6* •构造光栅结构
]9 w76Z - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
Dt|)=a - 倾斜光栅的高级配置[用例]
60>.ul2 •分析光栅衍射效率
#q\x$ - 光栅级次分析器[用例]
ti @kKz •使用参数优化优化光栅参数
jeUUa-zR3 •使用参数运行进行容差分析
mN_Z7n;^eh - 参数运行文档的用法[用例]
0Q5^C!K <%?#AVU[ k@mVxnC TFQ!7'xk) VirtualLab Fusion技术
j]rz] k IH*s8tPc Cfu=u *u