摘要
L% cr `<~ .oR_r1\y 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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qg0( -P5M(Rt
7Odw{pc 建模任务
^s=p'&6 R6KS&Ge_ {_{&t>s2 (i*;V0 1阶的
参数优化
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(GNY::3 #g6*s+Gm 4xE [S 结果-容差分析
sKkk+-J4 m),3J4(q .mse.$TK.^ nEZoF 结果-容差分析
(oYM}#Q 1i.t^PY jtMN )TM 8mCL3F 在
VirtualLab Fusion中查看
UY_'F5X k lRS:\dW Gj.u/l 0 ;b%@_E VirtualLab Fusion的工作流程
.[Z<r> X\I"%6$ •构造光栅结构
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2k&yL+a - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
\9*,[mvC - 倾斜光栅的高级配置[用例]
H'L~8> •分析光栅衍射效率
O~r.sJ} - 光栅级次分析器[用例]
J&xH"U •使用参数优化优化光栅参数
QT5,_+ho •使用参数运行进行容差分析
vsjl8L - 参数运行文档的用法[用例]
6NO_S $_6DvJ0 .H,wdzg) TZT1nj"n VirtualLab Fusion技术
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