[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 -Lh7!d  
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 J, 9NVw$  
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设计任务 N>!:bF  
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1级参数优化  <OMwi9  
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结果-容差分析 N T`S)P*?  
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结果-容差分析 AG N/kx  
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VirtualLab Fusion一瞥 ysW})#7X  
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Xu]~vik  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 5X)
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HEF e?
 
构建光栅结构 L8VOiK=,  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ZSC*{dD$E  
−倾斜光栅高级设定[用例] Ax;[Em?
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•光栅衍射效率分析 ju"z  
−光栅阶序分析器[用例] m9 h '!X<  
•使用参数优化进行光栅参数优化 UlYFloZ  
•使用参数运行的容差分析 g4IF~\QRVi  
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VirtualLab Fusion技术 l|P"^;*zq  
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了解一下光栅。