摘要
#KNl<V+c}1 ik](k"1{ 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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R.?PD$;_M |/ji'Bh 设计任务
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$<9u:.9xf \a4X},h\ 1级
参数优化
JZK93R S['cX ~
/ ykc`E?f 1?yj<^" 结果-容差分析
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qyAnq%B} a`8]TD 结果-容差分析
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UM`{V5NG# O c.fvP^ZD VirtualLab Fusion一瞥
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7l ,f EDuH+/:n VirtualLab Fusion中的工作流程
w5^k84vye 0@[*~H0{n 构建光栅结构
/M'd$k"0z −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
I:HrBhI)wP −倾斜光栅高级设定[用例]
Dw.I<fns^B •光栅衍射效率分析
9 *uK]/c −光栅阶序分析器[用例]
*o38f>aJl •使用参数优化进行光栅参数优化
[Y~~C J •使用参数运行的容差分析
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o='A1 P ^_i)XdPU VirtualLab Fusion技术
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