摘要
fQnwy!-\ x\s,= n3z 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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dz#5q-r /cFzotr"9 设计任务
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参数优化
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VY 1vXM3y >x:EJV VirtualLab Fusion一瞥
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+$z]w(lb T #6S75{rnW" VirtualLab Fusion中的工作流程
~H@+D}J? }b["Jk\2 构建光栅结构
b 1^n KB −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
Y\/gU8w/ −倾斜光栅高级设定[用例]
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jk4+ •光栅衍射效率分析
nw'-`*'rj −光栅阶序分析器[用例]
"u')g& •使用参数优化进行光栅参数优化
+zOOdSFk. •使用参数运行的容差分析
w5~i^x ? S=W&
NSLVD[yT YwT-T,oD VirtualLab Fusion技术
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